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多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术被引量：16: 2003年; 列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点。对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补偿方法进行了详细地分析和测试。实验表明,这两种补偿法更适用于多晶硅压力传感器。; 罗秦川张生才姚素英张为曲宏伟; 关键词：多晶硅压力传感器热灵敏度漂移温度补偿

半导体高温压力传感器的静电键合技术被引量：3: 2002年; 本文论述了多晶硅高温压力传感器中的硅玻璃静电键合技术 ,包括硅玻璃静电键合机理 ,键合强度及键合后残余应力的改善措施 .通过大批量键合封接实验 ,键合的成品率达到 95; 张生才赵毅强刘艳艳姚素英张为曲宏伟; 关键词：键合强度残余应力

高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术被引量：3: 2002年; 本文在分析、测试多晶硅高温压力传感器温度特性的基础上 ,提出了一种新的改善传感器温度特性的措施。通过在压力传感器芯片上集成低阻值的多晶硅电阻网络与温度传感器 ,不仅可以很好的补偿传感器的零点温漂 ,也可以借助传感器信号处理单元 ,方便地实现对灵敏度温度系数的补偿。经补偿 ,传感器的零点温漂达到 1× 10 -4/℃ ,灵敏度温漂小于 -2× 10 -4/℃。实验表明 :该方法的补偿温区宽 ,通用性强。; 曲宏伟姚素英张生才赵毅强张为; 关键词：温度特性灵敏度温度补偿

一种多晶硅高温压力传感器被引量：1: 1998年; 制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用硅优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明，这类传感器具有灵敏度好、精度高等特点，电路工作范围为０～２５０°Ｃ，且具有良好的温度稳定性。; 张荣曲宏伟王涌萍阎富兰崔金标田莉萍张维新; 关键词：传感器压力传感器多晶硅介质隔离

多晶硅高温压力传感器的温度特性被引量：2: 2002年; 讨论了改善多晶硅高温压力传感器温度特性的 3种措施 :用四甲基氢氧化铵溶液代替氢氧化钾溶液作硅杯各向异性腐蚀剂 ;优化多晶硅压敏电阻的掺杂浓度 ,实现传感器灵敏度温度漂移自补偿 ;在传感器芯片上加做温敏电阻 ,通过调节激励源的温度特性 ,进一步减小传感器灵敏度温度系数 .采用以上措施 ,使多晶硅压力传感器有良好的高温稳定性 ,灵敏度温度系数绝对值小于 2× 10 -4/℃ .; 张为姚素英张生才曲宏伟刘艳艳张维新; 关键词：多晶硅压力传感器温度特性

新型集成压力传感器的研究被引量：6: 1996年; 本文介绍一种新型集成压力传感器．它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起，制作触发器型集成压力传感器．文章对该类传感器的工作原理，电路结构进行了理论分析，并对实验结果进行了讨论．重点分析了噪声对传感器特性的影响，在测试电路中加入调控三角波电压，可以改善传感器的特性．; 张维新毛赣如曲宏伟姚素英李建文; 关键词：集成压力传感器传感器集成电路压力传感器

NOISE EFFECT ON CHARACTERISTICS OF FLIP FLOP SENSOR: 1998年; This paper presents a new class of semiconductor integrated sensor which consists of sensitive components and flip flop circuit. The sensors have high sensitivity and digital output. This paper describes the operating principle and structure of the sensor. And noise effect on characteristics of the sensor is analysed in detail. The modulated effect of the triangular wave voltage is quantified. As an example, an integrated pressure sensor is introduced and the experimental results agree with the theoretical analyses.; 姚素英毛赣如曲宏伟张维新

多晶硅双岛压力传感器应力分布的模拟计算被引量：2: 1999年; 本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律,优化多晶硅应变电阻的设计,弥补了多晶硅压阻系数低于单晶硅的缺点,研制出了双岛结构多晶硅压力传感器.传感器具有高灵敏度和高的工作温度.; 姚素英曲宏伟张维新毛赣如李永生; 关键词：有限元方法多晶硅灵敏度压力传感器

高温压力传感器现状与展望被引量：22: 2002年; 论述了多晶硅、SOI(绝缘体上硅 )、碳化硅、SOS(蓝宝石上硅 )、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光纤等高温压力传感器的基本结构、工作原理、特点及研究现状 ,展望了压力传感器的未来。; 张为姚素英张生才刘艳艳曲宏伟; 关键词：高温压力传感器多晶硅 SOI 碳化硅石英晶体

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曲宏伟