张晓蕾
- 作品数：14 被引量：30H指数：4
- 供职机构：大连理工大学机械工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺化学工程理学更多>>
- 超声提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法
- 本发明公开了一种通过超声技术来提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法，属于微制造技术领域，特别涉及到提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法。其特征是：在光刻过程中，在后烘之后、显影之前进行超声处理来提高S...
- 杜立群张晓蕾王翱岸赵明赵珊珊
- 文献传递
- 交联SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子动力学模拟被引量：2
- 2010年
- 应用分子动力学模拟软件Materials Studio构建SU-8光刻胶与Ni基底的界面结构,研究后烘温度对界面结合性的影响.结合工艺中所采用的后烘温度,模拟计算了338～368K时Ni基底上SU-8胶的交联反应,在经过反复的能量最小化和分子动力学模拟后,对最终得到的平衡结构进行了界面结合能的计算.计算结果表明界面结合能随着后烘温度的升高而增大,在368K时结合能达到最大值,说明此时界面结合最好.对分子体系进行了能量分析,结果表明界面分子间的范德华力作用能是影响界面结合的主要因素.对体系界面原子间进行了径向分布函数分析,发现范德华力作用范围内(0.31～0.60nm)出现两组Ni—O的强峰,也证实了上述结论。
- 杜立群郭照沛张晓蕾
- 关键词：SU-8胶交联反应分子动力学模拟
- 淄博建行客户经理制构建虚拟团队的研究
- 随着我国加入WTO履行入世承诺的步伐，金融服务业逐步开放，国有商业银行面临着严峻的竞争和挑战。经营环境的急剧变化，迫切要求国有商业银行在经营理念和经营管理方面进行改革，试行和推广客户经理制正是国有商业银行应对市场需求和同...
- 张晓蕾
- 关键词：客户经理制虚拟团队商业银行核心竞争力
- 文献传递
- 基于动态路径规划的三维扫描方法研究
- 近年来，三维扫描技术成为了非接触式测量方法的主要手段，并在工程上广泛地应用于逆向建模、文物修复、地理测绘等各个方面。在针对大型构件和复杂曲面进行扫描作业时，采用手持式三维扫描设备获取三维数据的方案成为主流选择，但一些危险...
- 张晓蕾
- 关键词：动态路径规划正交实验
- SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子模拟被引量：5
- 2010年
- 运用分子动力学模拟软件Materials Studio针对SU-8胶与Ni基底的结合性进行模拟分析,计算了不同前烘温度下SU-8胶与Ni(100)面的结合能,发现在343K的前烘温度下,光刻胶与基底的界面结合能达到最大,说明此时界面结合最好。通过对SU-8胶与Ni基底的相互作用能分析,发现影响结合能的主要因素是两种分子之间的范德华力,其中色散力起主要作用,其值是排斥力的近两倍。
- 杜立群郭照沛张晓蕾
- 关键词：SU-8光刻胶结合能分子动力学模拟
- 环境规制、不同来源技术进步与工业环境效率
- 美国战略研究机构兰德公司（RAND Corporation）的研究报告表明，2000-2010年中国环境污染成本接近每年GDP的10%。日益严峻的环境问题制约了中国经济的发展，亟需通过合理的环境规制进行引导;经济的发展需...
- 张晓蕾
- 关键词：环境规制技术进步
- 基于创新思维培养的大学生音乐素质教育的研究
- 创新思维是人类思维活动的高级形态,是主体在一定的理论知识和实践经验的基础上,突破传统思维习惯和逻辑规则,通过多角度思维产生新颖的、独特的、有社会价值的产品的思维方式。音乐素质教育是指通过音乐知识的讲授,运用音乐欣赏、乐器...
- 张晓蕾
- 关键词：创新思维大学生音乐素质教育高等教育
- 基于动态路径规划的三维扫描方法设计与应用
- 2018年
- 传统的三维扫描方法通常对被测曲面进行一次测量,但在被测曲面的形貌和范围未知的情况下,扫描数据不完整、结果不准确且无法进行有效评价。提出的基于动态路径规划的三维扫描方法主要通过对被测曲面进行粗扫掠和二次扫描,针对三维信息缺失区域自动对扫描路径进行合理规划,引入最小包容球理论和可视锥概念,为三维扫描样品的采样点规划、扫描仪视点和扫描方向生成提供理论依据。该基于动态路径规划的三维扫描方法的可行性在对实际被测曲面的扫描实验中进行了验证并对其扫描质量进行了评价。
- 张晓蕾梁延德何福本王瑞锋
- 关键词：动态路径规划
- 超声提高SU-8光刻胶/金属基底界面结合强度研究
- 随着MEMS技术的迅速发展,金属微器件的需求量逐渐增加。基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术是制作金属微器件的有效方法之一。在以SU-8光刻胶UV-LIGA技术制作金属微器件的过程中,直接将金属作为基底制作微器件具有工...
- 张晓蕾
- 关键词：UV-LIGASU-8光刻胶界面结合强度超声处理内应力
- 文献传递
- 超声处理减小SU-8胶层内应力的研究被引量：1
- 2011年
- 目前,SU-8胶层中过大的内应力,已经成为制约SU-8胶结构稳定性和实现更高深宽比的瓶颈问题之一.然而,已有的研究工作都集中在工艺参数的优化和掩模板的设计上,而且无法推广使用.本文旨在利用超声时效技术减小SU-8胶层中的内应力.讨论了利用超声时效技术减小SU-8胶层中内应力的机理.以改进的Stoney公式为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小SU-8胶层中内应力方面的作用.讨论了工作台振幅、输入功率和时效时间等重要参数对超声时效效果的影响,并且对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层中的内应力值.研究结果表明,选择合适的实验参数,超声时效技术可以有效地减小SU-8胶层中的内应力,该技术在非金属应力去除方面具有一定的实用价值.
- 杜立群王启佳张晓蕾
- 关键词：SU-8光刻胶内应力
