丁国江
- 作品数:5 被引量:44H指数:5
- 供职机构:峨嵋半导体材料厂更多>>
- 相关领域:电子电信电气工程经济管理更多>>
- 三氯氢硅和四氯化硅混合比对多晶硅生产的影响被引量:9
- 1998年
- 传统现点认为:将三氯氢硅和四氯化硅按一定比例混合进入还原炉进行多晶硅还原生产,可降低消耗,提高效益.本文通过实验研究,得出在现有工艺条件下,将四氯化硅加入三氯氢硅同时进入还原炉进行多晶硅生产,并不能起到预期的效果.经改进后的工艺在实际生产应用中,取得了较好成果.
- 丁国江
- 关键词:混合比三氯氢硅氢还原四氯化硅多晶硅
- 四氯化硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用被引量:8
- 2008年
- 笔者之一曾在1982年发表《SiCl4氢化反应的探索》的热力学分析的文章,结合近期国内多晶硅产业蓬勃发展的新形势和对西门子法工艺主要副产物SiCl4有效利用的迫切需要,本文试图探索四氯化硅在西门子法多晶硅生产流程中循环利用的可能途径。
- 汪光裕丁国江艾波
- 关键词:四氯化硅循环利用
- 综合利用副产物SiCl_4氢还原生产多晶硅被引量:8
- 2008年
- 随着我国近年来多晶硅生产规模急剧扩大,副产物SiCl4产生的数量将是一个非常庞大的数字,如果不能充分利用,采取自由排放,将可能产生环境灾难和巨大资源浪费。因此生产多晶硅的企业,必须现在就考虑对SiCl4副产物的处理问题,这个问题可以说是关系多晶硅生产企业“生死存亡”的大问题。
- 蒋荣华冯地直饶家荣肖顺珍彭松文丁国江吴贤富
- 关键词:多晶硅副产物综合利用氢还原资源浪费环境灾难
- 改进型三氯氢硅合成工艺初探被引量:16
- 1998年
- 传统的三氯氢硅合成方法是将氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应.此法中,约有15~20%的副产物四氯化硅产生,存在原料消耗高,产品成本高.新工艺应用化学平衡的原理,适当加入部分的四氯化硅,可抑制四氯化硅生成,吸收氯化氢中的微量水份,从而提高三氯氢硅的转化率,降低硅粉单耗,减少设备腐蚀,提高设备寿命.本文主要对改进型工艺进行初步设计探讨,分析传统工艺之不足,以期能对现有生产和技术改造工作有所指导.
- 丁国江
- 关键词:三氯氢硅多晶硅四氯化硅
- 改良西门子法多晶硅还原新技术研究进展被引量:6
- 2009年
- 在日益激烈的国际竞争环境下,传统改良西门子法多晶厂商发展成本更低的替代技术势在必行。本文简单介绍了国外公司的三氯氢硅流化床技术和气液沉积法技术;其中三氯氢硅流化床技术能充分利用现有改良西门子法的全部产品流程,对改良西门子法多晶厂商更具参考意义。
- 曾亚龙丁国江廖敏
- 关键词:三氯氢硅流化床