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陈烨

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:浙江大学航空航天学院流体传动及控制国家重点实验室更多>>
相关领域:机械工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇扫描探针
  • 1篇微结构

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇伏明明
  • 1篇杨运海
  • 1篇郭科科
  • 1篇陈烨
  • 1篇居冰峰

传媒

  • 1篇第六届中日超...

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究
研究基于自行研制的纯钨材质的大长径比扫描探针,并将其应用于某型号的表面形貌仪,对微流道和复杂微结构的表面形貌进行了精密测量试验,并与利用单晶金刚石探针的测量结果进行对照。研究结果验证了新研制的大长一径比钨探针形貌测量的功...
伏明明郭科科陈烨杨运海居冰峰
关键词:微结构
文献传递
共1页<1>
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