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陈烨
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1
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供职机构:
浙江大学航空航天学院流体传动及控制国家重点实验室
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
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合作作者
居冰峰
浙江大学航空航天学院流体传动及...
郭科科
浙江大学航空航天学院流体传动及...
杨运海
浙江大学航空航天学院流体传动及...
伏明明
浙江大学航空航天学院流体传动及...
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2008
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大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究
研究基于自行研制的纯钨材质的大长径比扫描探针,并将其应用于某型号的表面形貌仪,对微流道和复杂微结构的表面形貌进行了精密测量试验,并与利用单晶金刚石探针的测量结果进行对照。研究结果验证了新研制的大长一径比钨探针形貌测量的功...
伏明明
郭科科
陈烨
杨运海
居冰峰
关键词:
微结构
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