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王玉
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
南京大学电子科学与工程学院超导电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电气工程
电子电信
一般工业技术
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合作作者
吴培亨
南京大学电子科学与工程学院超导...
康琳
南京大学电子科学与工程学院超导...
王金平
南京大学电子科学与工程学院超导...
陈健
南京大学电子科学与工程学院超导...
钟杨音
南京大学电子科学与工程学院超导...
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作者
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王金平
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康琳
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吴培亨
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曹春海
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钟杨音
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陈健
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低温与超导
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2009
1篇
2008
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超导HEB器件制备中的图形转移技术研究
2008年
超导HEB热电子混频技术是目前1THZ以上频段的最佳候选技术。在HEB器件的制备中,成功刻蚀微桥是关键。文章利用EBL、光刻技术、RIE技术相结合的方式,对如何成功刻蚀微桥进行了深入研究。并通过对EBL、光刻技术和RIE条件的研究分析,确定了最佳实验条件,成功实现了HEB器件的图形转移。
王玉
康琳
王金平
钟扬音
吴培亨
关键词:
EBL
光刻
RIE
超导HEB混频器的设计与制备
被引量:1
2009年
展示了一种基于超导NbN薄膜材料的HEB混频器的设计与制备工艺,详细介绍了高阻硅衬底上的超薄NbN薄膜的生长技术、HEB器件的结构、超导微桥区和平面等角螺旋天线的阻抗匹配等内容.测量研究了超导NbN HEB的电阻-温度(R-T)曲线、不同温度下的电流-电压(I-V)曲线以及HEB对太赫兹(THz)信号的响应特性.用Y因子方法测量了HEB器件的噪声温度,在2.5THz的太赫兹波辐照下,其最低噪声温度为2213K.
王金平
康琳
王玉
钟杨音
梁敏
陈健
曹春海
许伟伟
吴培亨
关键词:
平面等角螺旋天线
噪声温度
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