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王佐卿
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
南京大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张淑仪
南京大学
张辉
南京大学
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张辉
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王佐卿
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张淑仪
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1篇
2006
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高次谐波体声波谐振器谐振频率分布研究
被引量:4
2006年
基于由谐振频率分布提取压电薄膜参数的方法,研究影响高次谐波体声波谐振器(HBAR)谐振频率分布的因素。对多种HBAR进行模拟计算,模拟结果显示,变化基片对薄膜的声阻抗比值会引起并联谐振频率间隔的分布和有效机电耦合系数的分布改变;当薄膜的基模在高频时,改变电极对薄膜的声阻抗比值和电极厚度会引起谐振频率分布改变。这些结果表明,通过调整影响谐振频率分布的因素能使谐振频率变化,进而得到在特定的频率上产生谐振。
张辉
王佐卿
张淑仪
关键词:
谐振频率
高次谐波
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体声波
机电耦合系数
模拟计算
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