朱建勇
- 作品数：5 被引量：15H指数：2
- 供职机构：武汉理工大学材料科学与工程学院材料复合新技术国家重点实验室更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 在石英玻璃上MPCVD制备金刚石薄膜
- 该论文详细地介绍了金刚石薄膜的结构、性质及其应用和常见的几种制备金刚石薄膜的化学气相沉积法.该文详细介绍了自行研制的2450MHz/5KW带有石英玻璃窗、水冷却不锈钢腔体微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置.论述了...
- 朱建勇
- 关键词：金刚石薄膜石英玻璃MPCVD
- 文献传递
- 微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜
- 2002年
- 用X射线衍射、Raman谱和光电子能谱对石英玻璃上的金刚石薄膜进行分析 。
- 朱建勇李力柴欣董学斌
- 关键词：化学气相沉积法X射线拉曼光谱光电子能谱石英玻璃金刚石薄膜
- CVD金刚石薄膜的制备方法及应用被引量：11
- 2002年
- 对现在的化学气相沉积金刚石薄膜的方法和金刚石薄膜在器件中的应用进行介绍和评论
- 朱建勇梅炳初李力柴欣
- 关键词：CVD化学气相沉积金刚石薄膜
- 微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜被引量：1
- 2002年
- 在真空条件下采用氢气刻蚀二氧化硅形成硅膜 ,用微波等离子化学气相沉积法在玻璃上生长金刚石薄膜 ,并用X射线衍射、Raman光谱和光电子能谱对石英玻璃上的金刚石薄膜进行分析 ,指出其形成中间层SiO2 /Si/SiC/C(金刚石 )是在石英玻璃上生长金刚石薄膜的关键。
- 朱建勇梅炳初李力柴欣
- 关键词：CVD法石英玻璃金刚石薄膜化学气相沉积法RAMAN光谱光电子能谱
- 预处理工艺对硬质合金与金刚石膜间粘结力的影响被引量：1
- 2002年
- 在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上 ,采用微波等离子体化学气相沉积法 ,在微波功率 2kW ,压强4 .0kPa和 6 .5kPa ,CH4 和H2 流量分别为 1.6cm/s和 10 0 .0cm/s的条件下生长金刚石薄膜。利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在 ,用拉曼光谱分析了薄膜的质量 ,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕 ,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力。实验结果表明 ,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大 ,最主要的因素是钴含量的多少。
- 柴欣李力梅炳初董学斌朱建勇
- 关键词：硬质合金金刚石膜粘结力微波等离子体
