彭曦
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：西安理工大学机械与精密仪器工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程冶金工程更多>>
- 直拉炉结构分析及有限元仿真
- 随着集成电路和太阳能光伏产业的快速发展，硅单晶的需求量不断增大，从而导致生产硅单晶的设备即单晶炉的需求量也随之增大。同时对单晶生长设备和生长过程提出了更高的要求，拉晶过程的稳定性和设备的可靠性是保证晶体质量和生长效率的前...
- 彭曦
- 关键词：有限元仿真机械结构静力分析固有频率
- 文献传递
- 直拉式单晶炉整体结构静力分析被引量：1
- 2012年
- TDR-120型直拉式单晶炉的底部多块垫铁的受力为超静定问题,从材料力学的角度,无法准确获得每块垫铁上的受力。采用ANSYS软件进行静力分析,建立机架部分有限元模型,以该单晶炉在不同工作情况下的受力为研究对象,对比分析了两种不同的方案下3种典型工况机架的变形情况和应力分布,利用软件后处理从微观应力云图提取来确定宏观力,进而获得炉体底座下各垫铁承受的力。通过计算出的各垫铁的支承力对比分析了两种方案下机架结构的稳定性要求,验证单晶炉机架结构静态性能,为单晶炉结构方案的改进提供依据。
- 杨润彭曦胡超李淑娟
- 关键词：机架静力分析
- 直拉式单晶炉动态性能分析与预测
- 2012年
- 采用弹簧-阻尼单元模拟直拉式单晶炉结合部的连接,建立TDR-120型直拉式单晶炉整机动力学分析模型。利用ANSYS软件进行模态分析,获得了该类型单晶炉结构的振动特性,并将模拟结果与采用刚性连接的模拟结果进行对比。结果表明,本文建立的模型具有较高的准确性,能够分析和预测直拉式单晶炉的动态性能。
- 杨润李淑娟彭曦胡超
- 关键词：模态分析
