您的位置： 专家智库 > >

卢景景

作品数：6 被引量：3H指数：1
供职机构：合肥工业大学更多>>
发文基金：安徽省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇压印
  • 2篇亚波长
  • 2篇亚波长光栅
  • 2篇平面光栅
  • 2篇全息
  • 2篇热压印
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 2篇微细加工技术
  • 2篇模版
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米流体
  • 2篇键合
  • 2篇光刻
  • 2篇光栅
  • 2篇SU-8
  • 2篇波长
  • 1篇等离子体
  • 1篇栅网
  • 1篇射频等离子体

机构

  • 6篇合肥工业大学

作者

  • 6篇卢景景
  • 5篇王旭迪
  • 4篇金建
  • 2篇李小军
  • 2篇汤起升
  • 2篇金传山

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2012
  • 3篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 6 条 记 录，以下是 1-6
全选 清除 导出
排序方式：
SU-8纳米流体系统的制作方法
本发明公开了一种SU-8纳米流体系统的制作方法，其特征是利用全息曝光技术制作光刻-压印组合模板，并将光刻压印组合模板应用于SU-8纳米流体系统的加工中，其中利用光刻-压印组合模板包含的不同部分具有的不同功能，并结合键合技...
王旭迪李小军汤起升金建卢景景
基于PET的曲面亚波长光栅的制作方法
基于PET的曲面亚波长光栅的制作方法，其特征是以PET为光栅材料，包括如下几个步骤：首先应用微细加工技术制备用于热压印的光栅硅模版，然后把光栅硅模版和PET基片在真空环境下加热，之后进行热压，一段时间后冷却脱模完成平面亚...
王旭迪卢景景金传山金建
文献传递
低能宽束离子源的研究进展被引量：3
2008年
低能宽束离子源是离子束沉积、刻蚀和表面改性系统的核心部件,综述了考夫曼、射频等离子体、电子回旋共振等离子体、无栅网等四种离子源的等离子体的产生方式,对结构重点进行了分析,并从参数性能上进行了比较。稳定性好、与反应气体兼容的特点使射频和电子回旋共振离子源在低能离子束系统中取得了广泛应用,由于结构简单,束散角大,无栅网离子源目前仅限应用于薄膜沉积和薄膜改性等。
王旭迪卢景景
关键词：射频等离子体
SU-8纳米流体系统的制作方法
本发明公开了一种SU-8纳米流体系统的制作方法，其特征是利用全息曝光技术制作光刻-压印组合模板，并将光刻压印组合模板应用于SU-8纳米流体系统的加工中，其中利用光刻-压印组合模板包含的不同部分具有的不同功能，并结合键合技...
王旭迪李小军汤起升金建卢景景
文献传递
基于PET的曲面亚波长光栅的制作方法
基于PET的曲面亚波长光栅的制作方法，其特征是以PET为光栅材料，包括如下几个步骤：首先应用微细加工技术制备用于热压印的光栅硅模版，然后把光栅硅模版和PET基片在真空环境下加热，之后进行热压，一段时间后冷却脱模完成平面亚...
王旭迪卢景景金传山金建
文献传递
聚合物微纳流控通道热键合过程的顶部填充机制研究
近年来，微纳流控通道相关的基础和技术研究成为引人注目的前沿领域，微纳流控通道中流体和分子传输具有特异性质，相关研究突破了传统理论的一些重要概念。热键合技术是实现聚合物微纳流控通道密封的关键技术，热键合过程机理的研究对成功...
卢景景
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0