刘素艳
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- SU-8垂直微镜型MEMS光开关的设计与制作
- 介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列等特点.该光开关利用残余应力使垂直微镜的氮化硅/多晶硅微梁翘离基底,...
- 刘素艳卜敏强叶雄英周兆英
- 关键词：MEMS光开关SU-8静电驱动
- 文献传递
- 弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验研究
- 研究了一种弯曲悬臂梁静电执行器.该悬臂梁一端固支,另一端自由翘离基底.在静电力作用下,悬臂梁粘连的位置和长度会改变,使得执行器的电压-位移特性严重依赖加载历史.研究了在不同电压加载方式下,悬臂梁粘连点、端部位移的变化,以...
- 刘素艳牛凯叶雄英周兆英
- 文献传递
- 带有厚层结构的晶片上金属层的图形化方法
- 本发明属于微型电子机械系统(MEMS)技术领域,特别涉及一种在带有厚层结构的硅晶片上金属层的图形化方法。在本发明提出的金属层的图形化方法中,利用牺牲层腐蚀制作与硅衬底间隔着绝缘层的悬起隔离槽如多晶硅隔离槽,把溅射或蒸发在...
- 叶雄英刘素艳卜敏强周兆英
- 文献传递
- 弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验研究被引量：1
- 2003年
- 研究了一种弯曲悬臂梁静电执行器。该悬臂梁一端固支 ,另一端自由翘离基底。在静电力作用下 ,悬臂梁粘连的位置和长度会改变 ,使得执行器的电压 位移特性严重依赖加载历史。研究了在不同电压加载方式下 ,悬臂梁粘连点、端部位移的变化 ,以及这种变化对驱动电压的影响。实验研究了悬臂梁在方波电压下的振动 。
- 刘素艳牛凯叶雄英周兆英
- 基于弯曲悬臂梁静电执行器的微型光开关研究
- 刘素艳
- 关键词：光开关静电驱动
- 一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法
- 一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法,属于微型电子机械系统(MEMS)技术领域。本发明包括单晶硅衬底,制作在硅衬底上的下电极、下电极压焊块、上电极、上电极压焊块、上、下电极之间的二氧化硅和氮化硅绝缘层,其技术特点是所述的上电...
- 叶雄英刘素艳卜敏强周兆英
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