冯勇建
- 作品数：189 被引量：467H指数：11
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：福建省自然科学基金福建省重大科技项目莆田市自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程石油与天然气工程更多>>
- TMAH单晶硅腐蚀特性研究被引量：16
- 2003年
- TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂,选择性好,无毒且不污染环境,最重要的是TMAH与CMOS工艺相兼容,符合SOC的发展趋势。TMAH正逐渐替代KOH和其他腐蚀液,成为实现MEMS工艺中微三维结构的主要腐蚀剂。本文着重介绍了TMAH的特性、工艺条件及应用。
- 邓俊泳冯勇建
- 关键词：TMAH单晶硅各向异性腐蚀微机电系统
- 存储式义齿压力分布测量装置
- 存储式义齿压力分布测量装置，涉及一种舌肌对上颚压力分布测量装置。设有压力传感器、5路惠斯通电桥、5路差分放大器、中央处理模块、无线局域网模块和计算机；所述压力传感器放置于舌肌与上颚之间，用于检测上颚所受压力，压力传感器的...
- 蔡毓杰叶永汉邹建男倪园婷黄俊冯勇建
- 基于小挠度假设的电容式微型压力传感器模型被引量：9
- 2000年
- 在小挠度变形假设的基础上对接触型电容式微型压力传感器进行分析。通过对压力传感器敏感元件硅膜片的弹性分析给出了传感器的模型。传感器的接口电路由ＭＯＳ电流镜和模拟开关构成，该电路具有线性度好和测量增益高的特点，并能有效地消除电路中的寄生电容对测量的影响，大大降低测量噪声。
- 许金海颜黄萍冯勇建
- 关键词：接口电路电容式微型压力传感器
- 一种装载机的无线遥控系统设计被引量：5
- 2011年
- 为了提高在不安全或环境恶劣的机车调车作业现场的安全性、方便性及其作业效率,以厦工装载机为实验平台,开发设计一种应用于工业现场,具有远距离、高可靠性的多路无线遥控系统。该遥控系统由发射、接收和驱动控制三部分组成,提供无线键盘操作控制与PC机界面独立操作控制的两种遥控模式,同时,软件部分采用了模块化结构设计方法。经过多次现场调试实验,其结果表明,该遥控系统具有较强的实用性,另外,经过改进也可用于其他设备的控制,有较好的扩展功能。
- 黄志凌冯勇建
- 关键词：无线遥控单片机无线通信模块串行通讯
- 一种基于装载机的信号采集装置
- 一种基于装载机的信号采集装置，涉及装载机。设有装载机油门开度传感器、泵轮转速传感器、涡轮转速传感器、微处理器；所述泵轮转速传感器和涡轮转速传感器安装在转盘上；所述装载机油门开度传感器、泵轮转速传感器、涡轮转速传感器的电信...
- 茆荣超陈宜飞冯勇建张榕胡晔
- 文献传递
- 高机械灵敏度悬空导电薄膜的制备方法研究被引量：4
- 2012年
- 微机电系统中的悬空薄膜的制备技术是微结构制备的关键技术之一.研究了周边固支方形薄膜的机械灵敏度及通过浓硼扩散自停止腐蚀法制备高灵敏度悬空导电薄膜.实验结果表明,当扩散温度为1 175℃,扩散时间为3h,去除硼硅玻璃后四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液中腐蚀7.5h,可得到厚度为3μm,边长为5mm,方块电阻为1.12Ω/sq,致密均匀的悬空导电薄膜.给出了详细的制备工艺;针对扩散过程中出现的硼硅玻璃等问题,给出了切实可行的解决办法.
- 郑志霞冯勇建
- 静电驱动的MEMS可变电容器
- 2007年
- 介绍了一种用硅-玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器,通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型静电驱动的可变电容器件,给出了工艺流程和测试结果。通过实验测试证明:用这种方法制作的电容器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性。
- 冯勇建
- 关键词：可变电容MEMS静电驱动工作特性
- 用于温度传感芯片的开关电容积分器的设计被引量：3
- 2007年
- 设计了一种应用于温度传感芯片的全差分开关电容积分器.在温度传感芯片中,Δ-Σ调制器接收温度传感模块输出电压信号,并将模拟的电压信号转换成对应的数字信号.全差分开关电容积分器是Δ-Σ调制器中最核心的元件,它把接收到的温度传感器模块输出的模拟信号转换为数字信号.在开关电容积分器的实际设计中,存在MOS开关的导通电阻和电荷注入、时钟溃通、采样尖峰等非理想因素.本文对这些非理想因素做了详细的分析,设计了一种全差分的开关电容积分器,可以抵消开关电容中电荷注入和时钟溃通带来的电压误差.同时,本文设计了一种全差分共源共栅放大器,可以很好的满足积分器的要求,从而提高整个系统的性能.
- 郭建宁陈文芗冯勇建
- 微型电容式压力传感器的制作与测试被引量：8
- 2005年
- 从应用开发MEMS产品的实用角度出发,介绍了利用硅-硅键合技术制作的微型电容式压力传感器,给出了详细的制作工艺及主要工艺步骤图。对微传感器所用的测试装置的组成、测试电路的工作过程进行了详细介绍和深入分析。最后对不同尺寸的微传感器器件进行了测试,并对测试结果进行具体分析。结果表明:该微传感器具有良好的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。
- 王绍清徐肯冯勇建
- 关键词：传感器电容式压力测试MEMS
- 12864J-1液晶显示器在装载机XG3090上的应用被引量：2
- 2011年
- 通过对DSP芯片TMS320LF2407A和液晶模块12864 J-1的分析和研究,利用TMS320LF2407A的DSP最小系统板构建了一个用于厦工XG3090型装载机的显示系统。该显示系统包括硬件电路的实现和系统程序设计两部分。对液晶显示系统的硬件原理和软件设计流程图进行了介绍,并给出重要部分的编写程序。
- 郑聪冯勇建黄志凌
- 关键词：DSPTMS320LF2407A
