郭照沛
- 作品数：5 被引量：8H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学自动化与计算机技术更多>>
- SU-8胶界面结合性及超声时效的分子模拟研究
- 随着微机电系统/(MEMS/)的迅速发展,SU-8光刻胶作为制作高深宽比结构的首选胶,已经被广泛地应用于MEMS研究领域。然而SU-8胶在工艺过程中会产生很大的内应力,导致在后续的工艺过程中出现胶体开裂,甚至从基底上脱落...
- 郭照沛
- 关键词：SU-8光刻胶分子动力学模拟
- 文献传递
- SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子模拟被引量：5
- 2010年
- 运用分子动力学模拟软件Materials Studio针对SU-8胶与Ni基底的结合性进行模拟分析,计算了不同前烘温度下SU-8胶与Ni(100)面的结合能,发现在343K的前烘温度下,光刻胶与基底的界面结合能达到最大,说明此时界面结合最好。通过对SU-8胶与Ni基底的相互作用能分析,发现影响结合能的主要因素是两种分子之间的范德华力,其中色散力起主要作用,其值是排斥力的近两倍。
- 杜立群郭照沛张晓蕾
- 关键词：SU-8光刻胶结合能分子动力学模拟
- 聚合物光刻胶超声时效的装置和方法
- 聚合物光刻胶超声时效的装置和方法，属于超声波应用领域。其特征是聚合物光刻胶超声时效的装置，包括超声波发生器、超声波换能器、工作台和外壳，其特征在于工作台与超声波换能器相接，外壳支撑工作台和换能器悬空。聚合物光刻胶超声时效...
- 杜立群喻立川王煜郭照沛
- 文献传递
- 聚合物光刻胶超声时效的装置和方法
- 聚合物光刻胶超声时效的装置和方法，属于超声波应用领域。其特征是聚合物光刻胶超声时效的装置，包括超声波发生器、超声波换能器、工作台和外壳，其特征在于工作台与超声波换能器相接，外壳支撑工作台和换能器悬空。聚合物光刻胶超声时效...
- 杜立群喻立川王煜郭照沛
- 文献传递
- 交联SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子动力学模拟被引量：2
- 2010年
- 应用分子动力学模拟软件Materials Studio构建SU-8光刻胶与Ni基底的界面结构,研究后烘温度对界面结合性的影响.结合工艺中所采用的后烘温度,模拟计算了338～368K时Ni基底上SU-8胶的交联反应,在经过反复的能量最小化和分子动力学模拟后,对最终得到的平衡结构进行了界面结合能的计算.计算结果表明界面结合能随着后烘温度的升高而增大,在368K时结合能达到最大值,说明此时界面结合最好.对分子体系进行了能量分析,结果表明界面分子间的范德华力作用能是影响界面结合的主要因素.对体系界面原子间进行了径向分布函数分析,发现范德华力作用范围内(0.31～0.60nm)出现两组Ni—O的强峰,也证实了上述结论。
- 杜立群郭照沛张晓蕾
- 关键词：SU-8胶交联反应分子动力学模拟
