贾春艳
- 作品数：2 被引量：32H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 微型低压光纤法布里-珀罗干涉传感器研究
- 随着光纤传感技术的发展和应用领域的不断拓宽，对传感器的要求越来越趋向子微型化。在某些环境恶劣，如具有强电磁干扰和腐蚀性，或提供给传感器的安装空间非常有限的特殊工业领域，微型光纤压力传感器发挥着重要的作用。在生物医学诊断领...
- 贾春艳
- 关键词：压力传感器光纤传感温度敏感
- 文献传递
- 膜片式微型F-P腔光纤压力传感器被引量：29
- 2009年
- 为满足工业和生物医学领域对微型化传感器的需求,实验研究了基于Fabry-Perot(F-P)干涉仪原理的膜片式微型光纤压力传感器的制作工艺。在单模光纤端面上直接熔接外径约175μm的毛细石英管,在石英管的另一端制作敏感膜片,从而使光纤端面与膜片内表面之间形成F-P干涉腔。采用电弧熔接、切割、腐蚀膜片等方法制作了石英膜片式压力传感器,该传感器在0～3.1MPa内F-P腔的腔长变化灵敏度为41.09nm/MPa,压强测量分辨率为681Pa,并具有很小的温度敏感系数。在30～140℃,温度交差敏感<1.07kPa/℃。为了克服石英膜片减薄困难的缺点,选用聚合物材料(PSQ)作为压力敏感膜片制作了F-P传感器。室温下在0.1～2.1MPa,PSQ膜片的F-P腔长变化灵敏度达到1886.85nm/MPa,压强测量分辨率达到53Pa,十分接近人类或其他动物的体内压强测量水平。
- 于清旭贾春艳
- 关键词：微型压力传感器
