王泽松
- 作品数：27 被引量：19H指数：3
- 供职机构：武汉大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 低能团簇负离子束研究
- 本工作在1.7MV串列加速器的注入器中建立了团簇离子束注入装置，在磁分析器内部安装静电扫描器，用改进的法拉第杯作为注入靶室，用铯溅射负离子源产生碳团簇(C1-C10)离子束，进行能量为0.6-20KEV/ATOM的低能离...
- 张瑞王泽松张早娣王世旭付德君
- 关键词：加速器
- 文献传递网络资源链接
- 用于发动机活塞环表面涂层的CrN薄膜被引量：6
- 2010年
- 设计了一套电子源辅助中频孪生非平衡磁控溅射装置,在单晶硅、高速钢、硬质合金衬底上制备了CrN,研究了气体流量、衬底偏压、溅射功率对薄膜结构和性能的影响。X射线衍射表明,在N2/(N2+Ar)比例低于60%时,CrN薄膜呈明显的(200)结构,当N2/(N2+Ar)高于60%时,出现含Cr2N的多晶结构。沉积速率在8.5～12.5μm/h之间,显微硬度为10～18GPa。衬底偏压对沉积速率、薄膜结构和显微硬度都有重要影响。在较低偏压下得到的薄膜以CrN(200)为主;在较高偏压下出现(200)和(111)相。AFM和SEM测试表明,在较低偏压下沉积的样品呈纤维状微结构,在Vb>25V时,样品呈现柱状结构。CrN涂层的沉积速率和力学性能基本达到了发动机活塞环表面涂层的要求。
- 陈涛王泽松周霖邓建伟田灿鑫何俊刘传胜付德君
- 关键词：CRN中频磁控溅射活塞环
- 团簇离子束纳米加工技术研究进展
- 2014年
- 团簇离子束是带电的团簇,可以在电场、磁场作用下加速、传输或偏转,形成几个eV到几个MeV能量的离子束。文中阐述了团簇离子束的基本概念、产生方法和主要应用。大尺寸气体团簇和硼基团簇必须用高压气体超声绝热膨胀方法产生,然后通过电子碰撞电离形成团簇正离子。硼团簇用于超浅结制备,实现了结深为10-20nm的超浅注入;包含数千原子的大团簇则被用于半导体的表面平化,获得了粗糙度在0.7nm以下的平滑表面。用铯溅射离子源可以产生几个到几十个原子的负离子小团簇,包括B、C、F、Si及其分子团簇（SiB、GeB）。其中,硼基分子团簇离子束已用于对半导体进行瞬态增强扩散掺杂,与半导体表面的离子注入非晶化工艺相结合,实现了接近纳米量级的超浅注入。碳系团簇最近被用于超薄材料制备,获得了单层和双层石墨烯,并发现团簇离子束引起的非线性辐照损伤对石墨烯的形成具有重要影响。结果表明：团簇离子技术在超大集成电路和新型超薄纳米材料制备等领域具有广泛的应用前景。
- 张早娣李慧王泽松付德君
- 关键词：超浅结石墨烯
- 钴锂共注入氧化锌薄膜的铁电铁磁性
- 用钴锂共注入方法制备znCoO:Li,锂/钴离子能量分别为50 keV和400 keV,剂量分别为1×1016 cm-2和5×1016 cm-2.共注入的氧化锌薄膜在700℃氧气氛退火.铁电性测量得到样品的剩余电极化强度...
- 王泽松张瑞黄志宏黎明邹长伟付德君
- 关键词：离子注入ZNO铁电性磁性
- 文献传递
- 基于2×1.7MV串列加速器的材料合成与分析研究
- 本论文的主要内容包括以下三个方面： (1)以加速器-离子注入机组成的双束辐照系统为基础,论述了MeV能量离子与物质相互作用本质以及离子在物质中运动逐渐损失其能量的相关物理量,简述了基本离子束分析方法和离子注入的原理,以及...
- 王泽松
- 关键词：串列加速器石墨烯
- 文献传递
- 低能团簇负离子束研究
- 2014年
- 本文采用在武汉大学1.7MV串列加速器上的铯溅射负离子源(SNICS)产生碳团簇离子束,然后将离子注入到镍膜中,在样品表面成功制备了少数层石墨烯,用拉曼光谱进行了表征.
- 张瑞张早娣王泽松王世旭付德君
- 关键词：加速器离子注入碳团簇负离子石墨烯
- 一种场发射和场电离测量装置
- 本实用新型公开了一种场发射和场电离测量装置，由真空腔、电极部分、低压电源、高压电源、数字电流表、数模转换器和计算机系统构成，电极部分由顺次垂直安装在真空腔中的发射极、栅极和收集极构成，三者之间分别用绝缘材料隔开；栅极、低...
- 张早娣王泽松付德君
- 文献传递
- 一种用碳团簇离子束制备超薄碳膜的方法
- 本发明提供了一种制备超薄碳膜的方法。用铯离子溅射石墨靶产生小碳团簇负离子束，在合适的真空条件下，经减速电场后在基材表面上扫描沉积形成超薄碳膜。本装置主要由离子源、扫描器、沉积靶室和真空系统组成。离子源、扫描器、沉积靶室依...
- 王泽松王世旭张早娣付德君
- 文献传递
- 一种场电离粒子发生器
- 本发明公开了一种场电离粒子发生器，由真空腔、电极部分、低压电源、高压电源、束流表和计算机系统构成，电极部分由顺次垂直安装在真空腔中的发射极、栅极和收集极构成，栅极通过真空腔中导出的低压电极与低压电源连接，低压电源、束流表...
- 张早娣王世旭王泽松付德君
- 文献传递
- 4117 型串列加速器的运行及RBS/C 的数字化改造
- 汉大学4117 型串列加速器系统进行了升级改造，负溅射离子源能输出包括质子束和Li+在内的稳定的束流，经加速器及传输系统到达靶室的束流能满足离子束分析的要求。RBS/C 实现了数字化控制，达到了自动找沟道的要求，对单晶S...
- 王泽松何俊黄志宏黎明付德君
- 关键词：串列加速器数字化控制
