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朱海柯

作品数:4 被引量:0H指数:0
供职机构:上海交通大学更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 2篇多晶硅膜
  • 2篇掩膜
  • 2篇绝缘体上硅
  • 2篇硅波导
  • 2篇硅膜
  • 2篇二氧化硅膜
  • 2篇波导
  • 1篇电光
  • 1篇电光调制
  • 1篇电光调制器
  • 1篇调光
  • 1篇调制
  • 1篇调制器
  • 1篇多模
  • 1篇多模干涉
  • 1篇信号
  • 1篇色散
  • 1篇色散曲线

机构

  • 4篇上海交通大学

作者

  • 4篇朱海柯
  • 3篇陈建平
  • 3篇谢静雅
  • 3篇周林杰
  • 3篇孙晓萌

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2012
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
基于多晶硅掩膜的硅波导制备方法
本发明公开了一种基于多晶硅掩膜的硅波导膜制备方法,包括如下步骤:准备好洁净的绝缘体上硅(SOI)基底,进行一次干氧氧化生成薄二氧化硅膜,在二氧化硅膜上生长一层较厚的多晶硅膜,对多晶硅膜进行涂胶、光刻、刻蚀得到多晶硅掩膜,...
朱海柯谢静雅孙晓萌周林杰陈建平
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基于多晶硅掩膜的硅波导制备方法
本发明公开了一种基于多晶硅掩膜的硅波导膜制备方法,包括如下步骤:准备好洁净的绝缘体上硅(SOI)基底,进行一次干氧氧化生成薄二氧化硅膜,在二氧化硅膜上生长一层较厚的多晶硅膜,对多晶硅膜进行涂胶、光刻、刻蚀得到多晶硅掩膜,...
朱海柯谢静雅孙晓萌周林杰陈建平
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基于耦合光波导的可调光延时线
本发明公开了一种基于耦合光波导的可调光延时线,由两根互相平行或垂直的光波导构成,当两根波导相互靠近至0.3-0.8μm时,通过倏逝波互相耦合。它主要由两根具有不同色散曲线的光波导所组成,且两波导的色散曲线在相位匹配的波长...
孙晓萌周林杰陈建平谢静雅朱海柯
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全硅高阶电光调制器与光电探测器的研究
在未来光通信系统中,光电混合集成是必然趋势,而作为光传输网络中电光、光电转换的关键器件,调制器和探测器的性能影响着整个光通信系统。硅基材料光器件以其低功耗、低成本、微型化和与传统CMOS工艺兼容的优势,已经成为光通信调制...
朱海柯
关键词:光电探测器高阶调制多模干涉
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共1页<1>
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