徐开先
- 作品数：28 被引量：43H指数：4
- 供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
- 发文基金：辽宁省教育厅资助项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信经济管理更多>>
- 耐高温SOI结构压力敏感芯片的研制被引量：4
- 2007年
- 如何制作与生产适宜高温环境下应用的压力传感器，一直备受关注。在SIMOX技术SOI晶圆的基础上，设计了压力敏感芯片结构，并基于MEMS工艺制作了芯片。电桥采用1mA恒流源供电，在300℃下，满量程输出≥180mV，灵敏度为30-40mV/（mA.MPa），非线性≤1‰FS，重复性≤1‰FS。与常温测试结果相比，300℃高温下，敏感芯片的静态性能没有明显差异。
- 李新庞世信徐开先孙承松
- 关键词：高温SOI结构压力敏感芯片
- 硅电容传感器产业化中的几个关键问题
- 针对硅电容传感器的特点,稳定性好，指标先进，适合批量生产，成本低，配套性好，完全自主知识产权、民族品牌。就硅电容传感器产业化过程中的几个关键问题:静压误差、响应时间、稳定性、产业化条件提供了解决方案和工艺措施,获得显著效...
- 徐开先李颖刘沁张治国匡石殷波
- 关键词：稳定性
- 文献传递
- MEMS技术及发展建言
- 本文论述了MEMS技术的概念研究内容、发展趋势及应用领域,并从五个方面提出了发展我国MEMS技术的建议:一、结合我国国情.二、以市场为导向.三、加强工艺装备的研究.四、结合国家的发展战略和发展规划.五、培养专业技术人才.
- 徐开先
- 关键词：微机电系统
- 文献传递
- 敏感元件和传感器发展建言
- 分析了我国敏感元件和传感器的现状和差距,从产品研发、工艺、基础研究、应用等分析入手,提出敏感元件和传感器的结症所在,由此提出我国敏感元件和传感器的发展建言,即走市场导向-产品引领-技术提升-产业化之路;攻克5个关键和核心...
- 徐开先
- 关键词：敏感元件传感器生产工艺技术自主创新
- 文献传递
- 敏感元件及传感器的国内外动态及对策被引量：10
- 2002年
- 徐开先李妍君
- 关键词：敏感元件传感器
- 无线传感器网络系统
- 文章给出了无线传感器网络的特点，无线传感器网络的协议机制，无线传感器网络的共性技术，并对无线传感器网络中的传感器技术进行了分析和论述。
- 徐开先
- 关键词：无线传感器网络共性技术
- 文献传递
- MEMS技术及发展建言
- 本文概述了MEMS技术的定义、研究内容、发展趋势及应用，并对发展我国MEMS技术提出了若干建言。
MEMS技术之所以越来越引起业界的广泛重视与共识，是因为MEMS技术形成的产品具有微型化、高性/价比、能大批量生...
- 徐开先
- 关键词：MEMS技术敏感元件
- 文献传递
- 压力传感器计算机辅助设计软件的设计被引量：3
- 2008年
- 基于ANSYS有限元软件和VB6.0开发了一套压力传感器计算机辅助设计软件。采用参数建模方法输入传感器的结构参数,自动完成建模、网格划分、加载以及求解,并保存节点坐标及相应的应力结果文件;输入敏感电阻的位置、阻值、条宽等参数,依据电阻变化与应力的关系,结合拉格朗日插值算法计算敏感电阻变化量;计算得到传感器的输出。同实测结果相比,满量程输出误差小于10%。
- 李新黄体笋庞世信徐开先
- 关键词：压力传感器有限元计算机辅助设计
- 传感器与物联网
- 详细论述了传感器的背景、需求及传感器在物联网中的战略意义。国内传感技术发展现状、优势和存在问题。提出了传感技术的发展趋势和发展路线图。传感器在物联网中有关产业的关联分析。系统提出了对我国传感器发展的建言。
- 徐开先徐秋玲
- 关键词：传感器物联网传感技术
- 文献传递
- 自主研发的传感器应实现产业化：硅电容压力传感器及其产业化被引量：3
- 2008年
- 传感器——能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用的输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。
传感技术——研究传感器的材料、设计、工艺、性能和应用等的综合技术。
压力测量是工业过程控制中3大重要测量参数之一．压力传感器在工业自动化仪表中尤显重要，这次本栏目向读者介绍的3种压力传感器产品：
- 徐开先
- 关键词：电容压力传感器工业自动化仪表工业过程控制传感技术输出信号
