张博军
- 作品数：28 被引量：24H指数：3
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程核科学技术更多>>
- MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备被引量：9
- 2003年
- 永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明 ,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构 ,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例 :Co 85 %、Ni14 %。
- 张博军赵湛陈绍凤
- 关键词：MEMS微电子机械系统电磁执行器电铸
- 电磁驱动双向执行微量取样器
- 一种电磁驱动双向执行微量取样器，由在硅基片上利用SU－8光刻胶制作的微针，微通道和反应室组成；反应室底部为硅基底，沉积有氮化硅绝缘层，在其上制作用以检测生物样品的金电极；反应室的上部由金膜组成，在其上电铸有CoNiMnP...
- 赵湛陈绍凤张博军秦宁
- 文献传递
- 集成温湿度大气压力传感器芯片
- 一种集成温湿度大气压力传感器芯片，在基片制造出三个电阻和一个平板电极。其中两个电阻串连构成电桥的两个臂，用于测量绝对湿度，另一个电阻单独引线，用于测量温度。在基片上键合有一硅片，该硅片上对应一个测量湿度电阻和一个测量温度...
- 赵湛张博军武宇方震
- 文献传递
- 基于SU-8胶的微针执行器的研制
- 利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU-8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术...
- 秦宁赵湛张博军陈绍凤夏善红
- 关键词：SU-8胶MEMS
- 文献传递
- 基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿被引量：1
- 2006年
- MEMS技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。用于测量大气气压的传感器,主要材料是硅、氮化硅和铂金,氮化硅薄膜形成了传感器的主要结构。这种压力传感器与一般传感器相比具有结构简单、工艺易于实现以及精度高等优点。设计了工艺过程,制作了器件样片,并算法补偿了温度对传感器的影响。
- 王奇赵湛曾欢欢方震张博军
- 关键词：MEMS压力传感器氮化硅温度
- 探空集成传感器设计
- 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义.本文设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测微型集成传感器.考虑到MEMS加工工艺兼容性,分别采用空气导热检测法、铂电阻法和...
- 武宇方震赵湛陈超张博军
- 关键词：集成传感器微机电系统
- 文献传递
- 探空微型电容压力传感器设计
- 气压的测量在航空航天、气象预报、环境检测等领域中具有重要的意义.微型电容压力传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高的优点,在气体压力测量中被广泛应用.本文根据前人科研成果,分析了微型电容压力传感器的优缺点,以及在设计过程中常...
- 武宇赵湛方震陈超张博军
- 关键词：电容压力传感器MEMS
- 文献传递
- 一种多功能微分析系统平台
- 本发明涉及微型分析芯片技术，是一种基于线性阵列微电极芯片的多功能微分析系统平台，系统平台由两大部分组成：线性阵列微电极芯片和芯片控制系统。线性阵列微电极芯片是在绝缘基片上制作的一组金电极构成的，电极上面覆盖着由绝缘材料构...
- 赵湛陈超张博军
- 文献传递
- 基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力传感器芯片
- 一种基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力的传感器芯片。在基片上制作出平行极板和三个电阻，其中平行极板是测量湿度的电容的一个电极，电阻作为测量压力的应变电阻和测量温度的热敏电阻。在平行极板上和电阻上制作一层聚合物，分别...
- 赵湛王奇曾欢欢方震张博军
- 文献传递
- 基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计
- 基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批生产能力.本文首先从理论上分析了利用热电原理测量空气绝对湿度的可行性,然后利用有限元分析方法对湿度传感器进...
- 方震赵湛武宇陈超张博军
- 关键词：有限元分析方法计算机模拟MEMS技术湿度传感器
- 文献传递
