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宋会英

作品数：26 被引量：132H指数：7
供职机构：中国石油大学（华东）更多>>
发文基金：山东省自然科学基金国家自然科学基金山东省科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 16篇电子电信
  • 7篇自动化与计算...
  • 6篇机械工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 12篇光刻
  • 10篇电子束光刻
  • 6篇邻近效应校正
  • 5篇扫描隧道显微...
  • 5篇MONTE
  • 4篇电子束
  • 4篇二次电子
  • 4篇CARLO模...
  • 3篇电子束曝光
  • 3篇微机电系统
  • 3篇机电系统
  • 3篇STM
  • 3篇MONTE_...
  • 3篇电系统
  • 2篇压电
  • 2篇压电陶瓷
  • 2篇散射
  • 2篇隧道效应
  • 2篇计算机
  • 2篇计算机专业

机构

  • 18篇山东大学
  • 8篇中国石油大学...
  • 2篇北京信息科技...
  • 2篇泰山学院
  • 1篇中国石油大学...
  • 1篇中国石油化工...

作者

  • 25篇宋会英
  • 16篇张玉林
  • 9篇魏强
  • 7篇郝慧娟
  • 6篇孔祥东
  • 3篇赵真玉
  • 3篇于欣蕾
  • 3篇卢文娟
  • 2篇于肇贤
  • 2篇祁鑫
  • 2篇杨瑞
  • 1篇魏守水
  • 1篇孙士明
  • 1篇崔学荣
  • 1篇李世宝
  • 1篇宫法明
  • 1篇孙晓军
  • 1篇苏兴
  • 1篇梁鸿
  • 1篇孔莹莹

传媒

  • 7篇微细加工技术
  • 4篇微纳电子技术
  • 1篇高能物理与核...
  • 1篇电子学报
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇计算机工程与...
  • 1篇微型电脑应用
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇高等理科教育
  • 1篇压电与声光
  • 1篇山东大学学报...
  • 1篇高教学刊
  • 1篇第二届中国计...
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇中国自动化学...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2017
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 2篇2007
  • 6篇2006
  • 5篇2005
  • 5篇2004
共 26 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
电子束光刻三维仿真研究被引量：3
2010年
本文利用MonteCarlo方法及优化的散射模型,对电子束光刻中电子在抗蚀剂中的散射过程进行了模拟,通过分层的方法,对厚层抗蚀剂不同深度处的能量沉积密度进行了计算,建立了电子束光刻厚层抗蚀剂的三维能量沉积模型.根据建立的三维能量沉积模型,采用重复增量扫描策略对正梯锥三维微结构进行了光刻仿真.理论分析和仿真结果表明,利用分层的三维能量沉积分布模型能更精确地实现电子束光刻的三维仿真.
宋会英杨瑞赵真玉
关键词：电子束光刻
基于UWB/DGNSS的高速公路车辆精确定位方法的研究
2017年
目前高速公路车辆碰撞事故发生率居高不下,但相关研究成果主要集中在基于前后距离测量的单车碰撞预警,无法避免车辆连环碰撞。车辆连环碰撞预警的主要技术难题是车辆的精确定位问题,因为高速公路存在缺少电源、车辆高速移动、不相邻车辆的非视距,以及海量设备安装维护的低成本要求等限制,造成定位困难。为此,提出了基于超宽带(Ultra Wideband,UWB)无源射频识别(Radio Frequency Identification,RFID)相对定位和基于自差分卫星的绝对定位方法,二者协同工作实现高速公路车辆的精确定位。研究成果可用于车辆连环碰撞预警、物联网及其他高精度位置服务领域。
陈枭崔学荣宋会英
关键词：UWB高速公路
电子束光刻中的内部邻近效应校正技术研究被引量：1
2009年
研究了基于图形几何尺寸修正的电子束光刻的内部邻近效应校正技术,利用累积分布函数预先进行内部最大矩形和顶点矩形的快速计算,并把它们存储在矩阵中。在校正过程中,根据初始矩形的尺寸,通过访问矩阵实现内部最大矩形和顶点矩形的快速替换。矩阵的预先建立,最大限度地减小了校正过程中的计算强度。模拟结果表明,通过内部最大矩形和顶点矩形的替换,能够快速地实现内部邻近效应校正,校正时间与被校正图形数目成线性关系增加。在与同类软件精度相同的情况下,提高了运算速度。
宋会英杨瑞于肇贤赵真玉
关键词：电子束光刻邻近效应校正
电子束光刻中的相互邻近效应校正技术研究
2011年
本文研究了基于形状修正的电子束光刻分级邻近效应校正技术,在内部邻近效应校正的基础上,在计算图形之间产生的相互邻近效应过程中,采用了局部曝光窗口和全局曝光窗口机制。局部曝光窗口的区域小,对计算精度影响大,采用累积求和的方法进行精确计算;全局曝光窗口区域大,对计算精度影响小,采用大像点近似的方法进行计算,从而更快速地实现邻近效应校正。该技术的应用,满足了校正精度和运算速度两方面的要求。实验结果与模拟结果一致,表明通过采用局部曝光窗口和全局曝光窗口机制,能够快速地实现相互邻近效应校正,在校正精度相同的情况下,有效提高了运算速度。
赵真玉宋会英
关键词：电子束光刻邻近效应校正
基于扫描隧道显微镜的纳米加工技术被引量：3
2005年
介绍了具有原子级分辨率的扫描隧道显微镜(STM)的工作原理及其相对于传统的电子束加工所具有的技术优势,阐述了STM在纳米加工中的应用和需要解决的技术难题。
魏强张玉林宋会英于欣蕾
关键词：扫描隧道显微镜隧道效应电子束光刻
“数据结构”精品课程建设探讨
本文从课程建设的目标，教学内容、教学方法、实践教学等方面探讨了“数据结构”精品课程的建设，促进了教学质量的不断提高，取得了较理想的效果。
宋会英宫法明孔莹莹孙士明
关键词：高等教育计算机专业课程管理教学模式
文献传递
LIGA工艺的发展及应用被引量：17
2004年
介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like－LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗蚀剂回流LIGA(PRLIGA———photoresistreflowLIGA)技术等。利用这一系列LIGA技术,可以生成具有高深宽比的复杂微结构,如微尖阵列、球形曲面、活动部件等,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出了目前这些方法存在的缺陷。
孔祥东张玉林宋会英
关键词：光刻胶X射线微机电系统
三维结构的邻近效应校正被引量：1
2006年
针对三维曝光图形的结构特点,结合重复增量扫描方式,分别从水平和深度两个方向进行邻近效应校正。水平方向通过预先建立校正过程中需要的各种规则表,使所需参数可以通过查表获得,快速、准确地实现了邻近效应校正,深度方向的校正则是从吸收能量密度与曝光剂量的关系上考虑。利用SDS-3电子束曝光机完成了校正实验。AFM图显示,邻近效应已大大降低,可满足三维加工精度的要求。所提出的扫描方式和校正方法为电子束曝光的三维加工和邻近效应校正提供了一种新方法。
郝慧娟张玉林卢文娟宋会英
关键词：图形发生器电子束光刻邻近效应校正
电子束曝光中电子散射模型的优化被引量：8
2005年
提出了在0.1 keV^30 keV能量范围内进行电子束曝光Monte Carlo模拟的分段散射模型优化方案。在该方案中,对所有的弹性散射均采用精确的Mott弹性散射截面。而对非弹性散射,当能量处于E0≤10 keV,10 keV20 keV时,分别采用了Joy修正的Bethe公式、通常的Bethe公式和相对论效应修正的Bethe公式来计算总能量损失率;当E0≤20 keV和E0>20 keV时,分别采用了Gryzinsky截面和Moller截面计算离散的能量损失率。发现模拟结果与实验结果很好地吻合,这比采用单一的散射模型和不考虑二次电子的Bethe公式得到的模拟结果更加符合实际的电子散射过程,其精度更高。
宋会英张玉林魏强孔祥东
关键词：电子束曝光散射模型MONTECARLO方法二次电子
STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术被引量：2
2006年
为了提高扫描隧道显微镜微位移工作台的定位精度,提出了一种基于遗传算法的神经网络PID控制方案。微位移工作台以压电陶瓷为驱动器、柔性铰链为导向机构,在分析工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,能够在线调整网络加权值,实时改变PID控制器的系数,减小工作台的位移误差。利用遗传算法的全局搜索能力对BP网络的初始权值进行学习优化,有效消除了神经网络对初始权值敏感和容易局部收敛的缺陷,改善了控制器的控制效果。性能测试表明,12μm阶跃参考输入下的稳态误差从3.24%减小到2.55%,稳态时间从1.7 s缩短到1.1 s。
魏强张玉林郝慧娟卢文娟宋会英于欣蕾
关键词：电子束扫描隧道显微镜神经网络PID
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