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姜倩晴

作品数：19 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文基金：全球变化研究国家重大科学研究计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学文化科学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 7篇刻蚀
  • 7篇光子
  • 6篇色心
  • 4篇单光子
  • 4篇电极
  • 4篇离子刻蚀
  • 4篇纳米
  • 4篇抗蚀剂
  • 4篇光刻
  • 4篇光子源
  • 3篇单光子源
  • 3篇电子束
  • 3篇离子束
  • 2篇导向性
  • 2篇点接触
  • 2篇电子器件
  • 2篇电子束光刻
  • 2篇电子束曝光
  • 2篇定影
  • 2篇上光

机构

  • 19篇中国科学院
  • 1篇北京师范大学

作者

  • 19篇姜倩晴
  • 19篇顾长志
  • 12篇李俊杰
  • 11篇唐成春
  • 9篇李无瑕
  • 9篇金爱子
  • 8篇杨海方
  • 4篇全保刚
  • 3篇牟佳佳
  • 2篇李家方
  • 2篇刘刚钦
  • 2篇常彦春
  • 2篇刘东奇
  • 2篇潘新宇
  • 1篇姚宗妮
  • 1篇徐鹏
  • 1篇夏钶

传媒

  • 1篇物理学进展

年份

  • 3篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
  • 8篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2011
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种微观生物培养装置及制作和使用方法
本发明提供一种微观生物培养装置，包括基底和采用三维激光直写技术制作在基底之上的聚合物结构，所述聚合物结构包括具有顶部的注入容器，具有顶部的转移容器以及将所述转移容器和所述注入容器连通的连接管道，所述注入容器顶部留有通孔。...
李无瑕顾长志姜倩晴牟佳佳
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一种大面积制备微纳米凸球透镜阵列的方法
一种用电子束光刻(EBL)结合反应离子刻蚀(RIE)大面积制备微纳米凸球透镜阵列的方法，包括如下步骤：1)清洁金刚石表面并蒸镀粘附层金属；2)在蒸镀了粘附层金属的金刚石样品表面旋涂HSQ层，并进行前烘；3)在EBL系统中...
唐成春李俊杰姜倩晴顾长志全保刚金爱子
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石墨烯纳米电子器件及其制备方法
本发明公开了一种石墨烯纳米电子器件及其制备方法，包括：S1、提供上表面为绝缘介质材料的衬底；S2、在上表面上形成连续且基本上覆盖衬底的整个上表面的石墨烯层；S3、在石墨烯层上形成各个金属电极；S4、在石墨烯层上覆盖抗蚀剂...
唐成春顾长志杨海方李俊杰金爱子姜倩晴
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用于色心单光子收集的透镜的制备方法
本发明提供一种用于色心单光子收集的透镜的制备方法，包括下列步骤：1）在金刚石块材中定位一个色心的位置；2）使用多组环形粒子束图案组，在所述金刚石块材表面刻蚀出以所述色心为球心的扇状球形表面，其中每组环形粒子束图案组中各环...
顾长志姜倩晴李无瑕潘新宇刘东奇刘刚钦常彦春
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利用激光直写制备三维中空微纳米功能结构的方法
本发明是一种利用激光直写制备三维中空微纳米功能结构的方法，通过表面功能化，获得三维微纳米功能结构的方法，其步骤包括：镂空衬底的选取与处理；镂空衬底在载物支撑基底上的放置；镂空衬底的载物支撑基底上光刻胶的滴定；激光直写光刻...
顾长志牟佳佳李家方李无瑕姜倩晴
一种大面积制备微纳米凸球透镜阵列的方法
一种用电子束光刻(EBL)结合反应离子刻蚀(RIE)大面积制备微纳米凸球透镜阵列的方法，包括如下步骤：1)清洁金刚石表面并蒸镀粘附层金属；2)在蒸镀了粘附层金属的金刚石样品表面旋涂HSQ层，并进行前烘；3)在EBL系统中...
唐成春李俊杰姜倩晴顾长志全保刚金爱子
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具有光子导向性的单光子源的制备方法
本发明提供一种具有光子导向性的单光子源的制备方法，包括：在金刚石块材中定位色心的位置；使用多组环形离子束图案组，在金刚石块材表面刻蚀出以色心为球心的半球形表面，在每组环形离子束图案组中，各环形离子束图案的环心错开，各环形...
李无瑕姜倩晴顾长志
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多重三维纳米结构的侧壁辅助制备方法
本发明提供了一种多重三维纳米结构的侧壁辅助制备方法，属于三维光电器件加工方法技术领域，其步骤包括：在基底上旋涂光敏感树脂或电子敏感树脂；通过光刻或者电子束刻蚀对应的光敏感树脂或电子敏感树脂，以构建三维模板，使得三维模板内...
唐成春李俊杰顾长志杨海方金爱子姜倩晴
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石墨烯纳米电子器件及其制备方法
本发明公开了一种石墨烯纳米电子器件及其制备方法，包括：S1、提供上表面为绝缘介质材料的衬底；S2、在上表面上形成连续且基本上覆盖衬底的整个上表面的石墨烯层；S3、在石墨烯层上形成各个金属电极；S4、在石墨烯层上覆盖抗蚀剂...
唐成春顾长志杨海方李俊杰金爱子姜倩晴
用于色心单光子收集的透镜的制备方法
本发明提供一种用于色心单光子收集的透镜的制备方法，包括下列步骤：1）在金刚石块材中定位一个色心的位置；2）使用多组环形粒子束图案组，在所述金刚石块材表面刻蚀出以所述色心为球心的扇状球形表面，其中每组环形粒子束图案组中各环...
顾长志姜倩晴李无瑕潘新宇刘东奇刘刚钦常彦春
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