吴霁虹
- 作品数：5 被引量：7H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- 基于MOEMS技术的F-P光开关的设计与制作工艺研究
- 该论文以研制用于WDM光通信系统的多层介质F-P腔结构光开关为目标,针对光开关的光学结构和力学结构设计进行了大量分析模拟,并对器件的整个制作工艺进行了实验工作,最终得到了完整的器件结构.论文首先论述了MOEMS器件在未来...
- 吴霁虹
- 关键词：MOEMS传输矩阵法
- 基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作被引量：7
- 2002年
- 研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内应力 ,防止产生过度变形 ;中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度 ,降低驱动电压 .体硅腐蚀出的硅杯既减小了光开关的插损 ,又便于端面输入输出光纤的精确对准与固定 ,有效降低封装成本 .制成的开关转换电压为 2 0 V,关态隔离度为 87% ,开态插损为 0 .15 d B.其结构和工艺简单 ,易于与 IC工艺相结合形成规模生产 ,如增加膜的层数便能制成基于 F- P干涉仪结构的滤波器 .
- 徐杨吴霁虹刘理天陈兢董良
- 关键词：光纤通信波分复用
- 一种无源分布式可移动智能除霾系统及方法
- 本发明提供一种除霾系统及方法。所述系统包括云端系统、至少一个智能终端和至少一个除霾架构；所述除霾架构，用于安装在机动车车顶，对含有PM2.5污染物的空气进行净化处理；所述智能终端，用于控制所述除霾架构进行空气过滤并计算除...
- 李贺武武博阳吴霁虹
- 文献传递
- 基于MOEMS技术的F-P光开关的设计
- 2001年
- Fabry -Perot(F -P)干涉仪是很多与波长相关的光学元器件的核心结构 ,通过研制基于MOEMS技术的F -P光开关 ,可以得到研制一大类MOEMS选频器件的基本设计方法和基本工艺步骤。文章给出了能完全与现有IC工艺相结合 ,采用Si,SiO2 和Si3N4 材料的多层介质结构的F -P光开关的设计方法和设计尺寸及其光性能的模拟结果 。
- 吴霁虹刘理天
- 关键词：光开关
- 基于复合梁的法布里-珀罗微腔结构力学性能的研究
- 提出了一种单片制作的四梁悬臂F-P微腔结构,用于MOEMS光开关的制作.为了减小残余应力对器件性能的影响,采用了具有不同初始应力的材料组成复合梁(氧化硅/氮化硅),氮化硅的张应力为氧化硅的压力所补偿,减小了初始变形,提高...
- 陈兢吴霁虹徐扬刘理天
- 关键词：光开关复合梁有限元分析
- 文献传递
