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刘向阳

作品数：31 被引量：18H指数：2
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 10篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 15篇刻蚀
  • 14篇探测器
  • 10篇碲镉汞
  • 8篇离子束
  • 8篇离子束刻蚀
  • 6篇电极
  • 6篇光敏
  • 4篇紫外探测
  • 4篇紫外探测器
  • 3篇电路耦合
  • 3篇透镜
  • 3篇透镜阵列
  • 3篇微透镜
  • 3篇微透镜阵列
  • 3篇无源
  • 3篇量子效率
  • 3篇灵敏度
  • 3篇敏度
  • 3篇孔型
  • 3篇缓冲层

机构

  • 31篇中国科学院
  • 4篇中国科学院大...
  • 2篇中国科学院研...

作者

  • 31篇刘向阳
  • 25篇李向阳
  • 11篇乔辉
  • 10篇刘诗嘉
  • 10篇贾嘉
  • 9篇张燕
  • 7篇王妮丽
  • 7篇许金通
  • 7篇朱龙源
  • 7篇徐国庆
  • 7篇赵水平
  • 6篇兰添翼
  • 6篇储开慧
  • 6篇汤亦聃
  • 5篇刘福浩
  • 4篇王仍
  • 4篇罗毅
  • 4篇周青
  • 3篇张可锋
  • 3篇王玲

传媒

  • 3篇红外与毫米波...
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇物理学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇半导体光电

年份

  • 2篇2021
  • 2篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2016
  • 5篇2015
  • 3篇2014
  • 4篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2011
  • 3篇2009
  • 4篇2008
  • 1篇2006
共 31 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
铝镓氮－锆钛酸铅焦平面探测器
本发明公开了一种AlGaN－PZT焦平面探测器，它采用两种不同响应波段材料同相叠加集成结构。利用多层薄膜结构中不同层对于不同光子能量的光吸收的差别，实现了在紫外到红外的宽波段吸收和高分辨率的有机结合。外延层AlGaN作为...
张燕孙璟兰王妮丽李向阳陈杰刘向阳韩莉孟祥建
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一种提高n型碲镉汞体晶载流子输运参数的方法
本发明公开了一种用于提高n型碲镉汞体晶载流子输运参数的方法。本发明利用碲镉汞半导体材料中Te‑Hg键结合能低的特点，通过氩离子束刻蚀在n型碲镉汞体内产生大量的汞填隙原子，在表面形成汞原子的稳态扩散源，汞填隙原子在体内扩散...
徐国庆兰添翼刘向阳乔辉贾嘉李向阳
文献传递
低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法
本发明公开了一种低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法，窗架为可伐合金材料，光学窗口为对红外透光的材料。该方法采用铟作为焊料，在光学窗口的焊接处真空镀膜Cr/Au层作为过渡层，在低温下焊接。本发明的最大优点是由于...
王小坤张亚妮朱三根刘向阳
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具有二次台面包裹电极的AlGaN紫外探测器
李向阳许金通张燕刘向阳乔辉
一种具有二次台面包裹电极的AlGaN紫外探测器器件，其结构为在衬底上依次生长，缓冲层、n型薄膜层、本征薄膜层、p型薄膜层和p型帽层，将p型帽层和部分p型薄膜层刻蚀形成p型微台面，该p型微台面为方形或圆形；沉积p包裹型欧姆...
关键词：
关键词：紫外探测器刻蚀工艺
一种氮化镓及氮化镓三元合金的钝化工艺方法
本发明公开了一种氮化镓及氮化镓三元合金的钝化工艺方法。该工艺方法包括以硝酸、三氯化钌或硫化钠为钝化液，对洁净的氮化镓及氮化镓三元合金进行第一次钝化；第一次钝化清洗后外延生长二氧化硅或氮化硅薄膜进行第二次钝化；器件成型后以...
李浩杰刘向阳张燕王玲许金通李向阳
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一种物理刻蚀工艺中的贴片方法
本发明公开了一种物理刻蚀工艺中的贴片方法：其步骤为：(1)选取胶带：需要采用聚酰亚胺耐高温双面胶带；(2)裁剪双面胶：将聚酰亚胺双面胶带裁剪成比所需刻蚀样品稍大的尺寸；(3)固定胶带：将聚酰亚胺双面胶带的下表面保护膜剥离...
贾嘉刘向阳乔辉李向阳
文献传递
InGaAs低台面线列或面阵红外探测器芯片
本发明公开了一种InGaAs低台面线列或面阵红外探测器芯片，包括：在p－InP/InGaAs/n－InP外延片上通过刻蚀形成线列或面阵p－InP微台面。在p－InP微台面上置有与其欧姆接触的Au/Zn/Pt/Au/P电极...
唐恒敬吴小利张可锋汪洋刘向阳李永富吴家荣李雪龚海梅
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离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度
2014年
用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔,利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现,在相同的刻蚀条件下,n区宽度取决于材料的汞空位浓度和被刻蚀HgCdTe体积.当被刻蚀HgCdTe体积相同时,n区宽度随汞空位浓度的增加呈线性减小;当汞空位浓度一定时,n区宽度随被刻蚀HgCdTe体积的增加呈线性增加.
徐国庆刘向阳王仍储开慧汤亦聃乔辉贾嘉李向阳
基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟被引量：1
2019年
用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证结果表明在沟槽宽度为4~10μm的范围内计算得到的刻蚀深度和SEM测量结果相差6~20%.对掩膜的轮廓演变进行了模拟给出了一个优化设计掩膜厚度来提高深宽比的实例.
刘向阳徐国庆徐国庆贾嘉孙艳
关键词：碲镉汞离子束水平集方法
一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件
本专利公开了一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件，其特征在于，器件结构为：在蓝宝石衬底上依次有聚酰亚胺，环氧胶，锰钴镍，金电极。其中所述的蓝宝石衬底为双面抛光的蓝宝石，所述的聚酰亚胺为亚胺化的聚酰亚胺，厚度为1～40微米，...
赵水平李向阳贾嘉朱龙源刘福浩刘诗嘉汤亦聃刘向阳姜佩璐周青罗毅
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