余国彬
- 作品数：75 被引量：71H指数：5
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响被引量：3
- 2007年
- 针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟了沿理想直线移动、不同幅值和不同移动距离的曲线移动时,所获得元件的面形,并分析了面形误差的影响因素和"竹节"误差产生的原因。最后得出结论:通过控制移动距离为一倍的掩模图形重复周期,并减小工件台移动直线性误差,对控制元件的面形精度和"竹节"误差最为有利。
- 佟军民胡松董小春严伟余国彬
- 关键词：面形精度
- 温度气压对高分辨力光刻物镜像质影响研究
- 2000年
- 分析温度气压对物镜光学材料、透镜厚度间隔 ,以及空气折射率的影响 ,并用空气折射率对物镜像质影响进行模拟计算。研究表明物镜焦面产生较大漂移 ,对倍率有一定影响 ,而对畸变影响较小 ,指出对物镜进行温度气压控制补偿是必要的。
- 陈旭南罗先刚李展余国彬
- 关键词：光刻物镜高分辨率像质集成电路
- 工作波长193纳米投影光刻物镜研究设计被引量：6
- 2001年
- 介绍工作波长为 1 93nm的投影光刻物镜研究设计 ,对波长、数值孔径和分辨力的选择 ,光学结构型式的确定 ,以及材料和试制加工工艺的考虑 ,然后给出一个数值孔径NA =0 .6 2 ,光学结构为双远心的投影光刻物镜设计结果。
- 陈旭南罗先刚林妩媚余国彬
- 关键词：激光光刻工作波长投影光刻机
- 一种适用于空间探测成像的基于FPGA的自动曝光控制方法及其装置
- 本发明涉及一种适用于空间探测成像的基于FPGA的自动曝光控制方法及其装置，该方法由当前帧主体图像平均亮度得到当前帧图像平均亮度，根据当前帧图像平均亮度与预期图像平均亮度的差值的正负和大小来自适应选取曝光时间，采用连续帧不...
- 余国彬刘恩海周武林周向东钟杰赵汝进王进
- 文献传递
- 光刻物镜自动气压补偿装置
- 本实用新型公开了一种光刻物镜自动气压补偿装置,它克服了现存技术只能对数值孔径不大的物镜进行环境气压引起的焦面漂移补偿的缺陷。它由内部通道连通光刻物镜内的各透镜而形成与外界大气隔绝的内腔,采用压力传感器检测、单片机控制电路...
- 陈旭南余国彬张津罗先刚
- 文献传递
- 超微细光刻中偏振光成像研究被引量：4
- 2003年
- 在大数值孔径、短波长的投影光学光刻系统中,对S偏振光、P偏振光和非偏振光在硅片 上的成像进行了研究,发现S偏振光成像具有最高的光强对数斜率值和最大的对比度;模拟了S偏振光通过掩模的电场分布机理,结果表明,可以通过调制照明光的偏振性来提高成像对比度和分辨力。
- 余国彬姚汉民罗先刚严佩英
- 关键词：偏振光像质数值孔径
- 一种基于大气层外环境光谱的白平衡定标方法
- 本发明公开了一种基于大气层外环境光谱的白平衡定标方法，涉及颜色定标技术领域。该方法以目标环境光照的光谱分布与相机整机量子效率相结合，解算出相机在该光照环境下对灰板的响应色品值，根据目标值与标准值之间的线性关系求解白平衡定...
- 赵汝进刘赛男曾骏哲乔丽马跃博余国彬刘恩海
- 深紫外投影光刻物镜
- 深紫外投影光刻物镜，包括外层的恒温密封外套、中间层和内层结构，中间层为镜筒，由第一镜筒和第二镜筒用连接件连接而成，内层为十个光学透镜元件及十个分隔固定光学透镜元件的透镜框组件，十个光学透镜元件组成的光学系统为双远心系统，...
- 陈旭南罗先刚余国彬石建平李海颖
- 文献传递
- 0.35微米投影光刻物镜
- 本发明公开的0.35微米投影光刻物镜,是一种大规模集成电路制造设备分步重复投影光刻机的高分辨力投影成像物镜。它由外层密封恒温外套、中间层镜筒、内层为分隔固定光学透镜元件的透镜框组件组成。它克服了目前现有光刻设备投影光刻物...
- 陈旭南姚汉民林妩媚余国彬
- 文献传递
- 5偏振光离轴照明成像模拟研究
- 矢量衍射理论适用于大数值孔径光学系统中研究照明光的偏振态对成像对比度的影响.本文主要研究了离轴照明下的S偏振光和P偏振光对成像的影响;发现照明光的偏振态严重影响了空间成像,结果表明在大数值孔径的光刻系统中,可以通过调制照...
- 余国彬姚汉民胡松刘业异
- 关键词：离轴照明偏振光对比度偏振态光刻
- 文献传递
