王钰萍
- 作品数：11 被引量：13H指数：2
- 供职机构：浙江大学材料与化学工程学院硅材料国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金教育部留学回国人员科研启动基金航天支撑技术基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 室温条件下制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜的方法
- 本发明公开的室温条件下制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜的方法，采用的是直流反应磁控溅射法，将衬底清洗后放入反应室中，反应室真空度抽至高于2.0×10<Sup>-3</Sup>Pa，以纯Ar和纯O<Sub>2</Sub>作为...
- 吕建国王钰萍叶志镇
- 文献传递
- ZnMgO基紫外探测器的研究进展及分析被引量：2
- 2010年
- ZnO基三元合金半导体材料因其重要的带隙调制作用,已成为紫外探测器发展的一个重要方向,特别是Zn_(1-x)Mg_xO基紫外探测器,可以探测日盲区紫外光,更是受到了各国极大的关注。当前,Zn_(1-x)Mg_xO基紫外探测器大多采用MSM叉指结构,响应峰位于300nm附近,响应时间最高可达ns量级,紫外可见光抑制比亦可大于4个数量级。扼要介绍了国内外相关小组的研究进展,并着重分析了薄膜组分、结构以及探测器性能参数等。
- 张俊马向丽王钰萍吕建国
- 关键词：ZNMGO紫外探测器性能参数
- 透明导电GZO/Cu/GZO多层薄膜的室温生长及性能研究被引量：1
- 2011年
- 研究Ga掺杂ZnO(GZO)和Cu薄膜形成的GZO/Cu/GZO多层薄膜体系,以期提高透明导电薄膜的综合性能。GZO/Cu/GZO多层薄膜由直流磁控溅射技术在室温下制备,研究Cu层厚度对多层薄膜结构、电学和光学性能的影响。结果表明GZO/Cu/GZO多层薄膜具有较好的结晶性能。随着Cu层厚度的增加,多层薄膜的可见光透射率有所降低,同时电学性能大幅度提升。在Cu层厚度为7.5 nm时,GZO/Cu/GZO多层薄膜获得最优的光电综合性能指标,且相对于单层GZO薄膜ΦTC因子从7.65×10-5Ω-1增加到1.48×10-3Ω-1。
- 别勋王钰萍吕建国叶志镇
- 关键词：ZNO透明导电磁控溅射
- 论刑法的谦抑精神
- 王钰萍
- 太阳能电池用透明导电AZO薄膜室温生长及其性能研究
- 本文利用直流反应磁控溅射技术分别在玻璃和柔性衬底上制备铝掺杂氧化锌(ZnO：Al，简称AZO)透明导电薄膜，研究了Al含量和氩氧比对薄膜特性的影响。室温条件下，优化参数后可获得透光率超过90％、电阻率低至10-3Ωcm量...
- 王钰萍吕建国别勋龚丽叶志镇
- 关键词：掺铝氧化锌柔性衬底太阳能电池AZO薄膜磁控溅射
- 文献传递
- ZnO透明导电薄膜室温生长及其在太阳能电池中的应用
- 本文利用直流反应磁控溅射技术在室温条件下制备了ZnO透明导电薄膜,如AZO和GZO薄膜。利用x射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、Hall测试仪、紫外-可见分光光度计等进行分析测试,系统研究了ZnO薄膜的结构、...
- 吕建国王钰萍黄继杰
- 文献传递
- 透明导电AZO/Cu双层薄膜制备及其性能被引量：7
- 2011年
- 采用直流磁控溅射方法在玻璃衬底上室温生长了AZO/Cu双层薄膜,Cu层厚度控制在9nm,研究了AZO层厚度对薄膜电学和光学性能的影响。当AZO层厚度为20～80nm时,AZO/Cu双层薄膜具有良好的综合光电性能,方块电阻为12～14Ω/sq,可见光平均透过率为70～75%,品质因子为2×10-3～5×10-3Ω-1。AZO/Cu双层薄膜可以观察到Cu(111)和ZnO(002)的XRD衍射峰。通过退火研究表明,AZO/Cu双层薄膜的光电性能可在400℃下保持稳定,具有良好的热稳定性。本研究制备的透明导电AZO/Cu双层薄膜具有室温制程、综合光电性能良好、结晶性能较好、稳定性高的优点,可以广泛应用于光电器件透明电极及镀膜玻璃等领域。
- 叶春丽王钰萍吕建国
- 关键词：AZO光电性能
- Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长及其性能被引量：3
- 2011年
- 本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO/Cu、Cu/AZO和AZO/Cu/AZO三种复合结构多层膜,研究了生长温度对多层膜特性的影响,发现AZO/Cu双层薄膜具有最优的光电性能,其最佳生长温度为100~150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO/Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响,结果表明：合适的生长温度有利于改善AZO/Cu双层薄膜的晶体质量,进而提高其光电性能;150℃下沉积的薄膜具有最佳品质因子1.11×10-2Ω-1,此时方块电阻为8.99Ω/sq,可见光透过率为80%,近红外反射率约70%。本文在较低温度下制备的AZO/Cu双层膜具有较优的透明导电性和良好的近红外反射性,可以广泛应用于镀膜玻璃、太阳能电池、平板显示器等光电领域。
- 王钰萍吕建国叶志镇
- 关键词：AZO光电性能生长温度
- ZnO基透明导电薄膜的低温制备及性能优化
- 透明导电薄膜将透明和导电性能相结合,是一类具有鲜明特色的功能薄膜材料,广泛应用于太阳能电池、液晶显示器、节能玻璃等光电领域。在这类材料中,掺杂氧化锌(ZnO)是一种具有良好可见光透射性和类金属导电性的透明导电薄膜,相对目...
- 王钰萍
- 关键词：透明导电AZO薄膜CU膜光电特性
- 文献传递
- Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长和性能
- 2012年
- 本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO／Cu、Cu／AZO和AZO／Cu／AZO三种复合结构多层膜，研究了生长温度对多层膜特性的影响，发现AZO／Cu双层薄膜具有最优的光电性能，其最佳生长温度为100～150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO／Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响，结果表明：合适的生长温度有利于改善AZO／Cu双层薄膜的晶体质量，进而提高其光电性能；150℃下沉积的薄膜具有最佳品质因子1．11×10^-2Ω^-1，此时方块电阻为8．99Ω／sq，可见光透过率为80％，近红外反射率约70％。本文在较低温度下制备的AZO／Cu双层膜具有较优的透明导电性和良好的近红外反射性，可以广泛应用于镀膜玻璃、太阳能电池、平板显示器等光电领域。
- 王钰萍叶春丽吕建国丛宏林江忠永叶志镇
- 关键词：AZO光电性能生长温度
