王洪昌
- 作品数：50 被引量：130H指数：8
- 供职机构：同济大学理学院精密光学工程技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 磁控溅射材料沉积速率的定标方法的研究被引量：1
- 2005年
- 介绍了一种利用磁控溅射制备多层膜速率的定标方法。用高精度磁控溅射镀膜设备在同一块基片上先后镀制了两种周期的多层膜,用X射线衍射仪对其进行掠入射衍射测量,测量数据经线性拟合,可同时求得两种多层膜的周期,进而得到镀膜速率。与常用的定标方法相比,该方法不仅可以得到与常用定标方法相同的实验结果,而且提高了工作效率。
- 吴文娟王占山张众王洪昌王风丽秦树基陈玲燕
- 关键词：多层膜磁控溅射定标
- 软X射线偏振光学元件的设计与制备
- 本文叙述了软X 射线波段反射式多层膜起偏器和检偏器的设计原则和设计方法，优化计算了5.9nm 波长处多层膜光学元件的偏振性能，阐述了其制备的过程，利用小角度衍射法对多层膜的厚度进行了测量，并对同步辐射测量的反射率结果进行...
- 王洪昌王占山吴文娟王凤丽张众秦树基陈玲燕
- 关键词：起偏器设计方法
- 文献传递
- 基于遗传算法的30.4nm多层膜设计被引量：11
- 2008年
- 阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程,完成了30.4nmMg/SiC周期和非周期多层膜设计,研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响.计算发现,种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前提,膜厚取值范围的合理选择是提高算法效率的关键.设计得到入射角10°的周期多层膜和15°～22°范围内的宽角多层膜在波长30.4nm处的反射率依次为56.57%与39.96±0.29%,5°入射的双功能多层膜在波长30.4nm和58.4nm处的反射率分别为54.1%和0.1%.结果表明遗传算法也是一种很好的多层膜设计方法.
- 陈锐王风丽朱京涛王洪昌王占山
- 关键词：薄膜光学多层膜遗传算法反射率
- 极紫外与软X射线偏振光学元件研究
- 王占山王洪昌王风丽陈玲燕秦树基顾忠祥张众马彬吴文娟唐伟星
- 极紫外与软X射线偏振元件是同步辐射上应用的重要光学元件。近期可能应用于北京同步辐射软X射线光束线，主要用于偏振测量，这有可能产生一些效益。上海正在建设上海光源，有可能也建设极紫外与软X射线偏振测量装置，这个项目的积累也为...
- 关键词：
- 关键词：极紫外软X射线
- 4.48nm正入射软X射线激光用Cr/C多层膜高反射镜的研制被引量：3
- 2007年
- 针对4.48nm类镍钽软X射线激光及其应用实验,设计制备了工作于这一波长的近正入射多层膜高反射镜。选择Cr/C为制备4.48nm高反射多层膜的材料对,通过优化设计,确定了多层膜的周期、周期数以及两种材料的厚度比。模拟了多层膜非理想界面对高反射多层膜性能的影响。采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上实现了200周期Cr/C多层膜高反射镜的制备。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国BessyⅡ同步辐射上测量了在工作波长处多层膜反射率,测量的峰值反射率达7.5%。对衍射仪测量的掠入射反射曲线和同步辐射测量的反射率曲线分别进行拟合,得到的粗糙度和厚度比的结果相近。测试结果表明,所制备的Cr/C多层膜样品结构良好,在指定工作波长处有较高的反射峰,达到了设计要求。
- 王蓓王占山徐垚张众朱京涛王洪昌王风丽陈玲燕
- 关键词：X射线光学软X射线多层膜磁控溅射
- 多层膜优化设计方法被引量：11
- 2005年
- 传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系。根据Frensnel反射系数公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软X射线和X射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目标光学性能的多层膜膜系结构。计算了不同波长软X射线周期性多层膜的最高理论反射率。单纯形调优算法在保证优化结果与随机搜索法优化结果近似相同的基础上,使优化计算速度提高了十倍以上。同时还用单纯形调优法优化设计了X射线超反射镜,得到了非常理想的非周期膜系。
- 王洪昌王占山
- 关键词：软X射线X射线多层膜反射率单纯形法
- 最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响被引量：3
- 2006年
- 选用能制备小周期的钨/硅(W/S i)作为膜层材料对,着重研究最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响。基于矩阵法计算多层膜反射率和单纯形数值优化方法,设计了入射光子能量为8.0keV,掠入射角的宽度分别为0.85°~1.10°,1.40°~1.70°的X射线超反射镜。结合实际实验制备技术,考虑了W/S i两种膜层材料的最小成膜厚度,确定了膜堆中最小膜层厚度为0.5nm^1.0nm。通过改变最小膜层厚度的值,优化设计了上述条件下的非周期多层膜并对其光学性能进行比较。结果表明:同一个工作波长下,随着多层膜工作角度(掠入射)的增加,膜堆中膜层的厚度减小,最小膜层厚度对其光学性能的影响增加,其光学性能变差。
- 王风丽张众朱京涛王洪昌吴文娟王占山陈玲燕
- 关键词：光学性能
- 具有共振腔模式的一维光子晶体结构
- 介绍了具有共振腔模式的一维光子晶体光谱特性及电场特性计算的传输矩阵方法;基于该结构光学性质如:电场局域态、禁带,综述了其在光学器件中的应用;并提出了需要对该结构进行改进的几个方面。
- 王利王风丽吴文娟王洪昌林小燕王占山吴永刚陈玲燕
- 关键词：传输矩阵共振腔局域态多通道
- 文献传递
- 基于模拟退火算法的宽角度X射线超反射镜设计研究被引量：7
- 2006年
- 应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且通用的全局优化算法。结合光学多层膜的设计原理提出了利用模拟退火算法来进行宽角度X射线超反射镜设计的新方法。结合已有的方法选择了W和C作为膜层的膜对材料，设计出Cu的Kα线处角度范围0．9°～1．1°反射率达到20%的宽角度X射线超反射镜。并在此基础上采用改进的自适应模拟退火算法实现了Cu的Kα线处宽角度X射线超反射镜的理想设计结果。设计结果表明了模拟退火算法在多层膜最优化设计领域的正确性和有效性。
- 程鑫彬王占山张众王风丽王洪昌陈玲燕
- 关键词：薄膜光学模拟退火算法
- 用于同步辐射单色器多层膜的研究被引量：3
- 2005年
- 结合Fensnel反射系数公式与Nevot-Croce模型,设计出了可以用于同步辐射单色器的W/B4C周期多层膜,并对其光学性能(反射率)做了模拟计算。采用高真空磁控溅射技术,实现不同周期的W/B4C周期多层膜的制备。利用英国BEDE公司出产的D1高分辨X射线衍射仪,完成W/B4C周期多层膜周期结构的测量。在北京同步辐射荧光束线(4W1B)上,利用W/B4C多层膜获取准单色光,实现材料的荧光分析实验。实验结果证明,W/B4C多层膜对同步辐射白光起到了单色的作用,可以得到高强度的准单色同步辐射X射线。
- 张众王占山吴文娟王洪昌王风丽顾春时秦树基陈玲燕华巍黄宇营
- 关键词：多层膜单色器X射线荧光分析
