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王永华

作品数:9 被引量:22H指数:2
供职机构:中南大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:机械工程自动化与计算机技术医药卫生理学更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 3篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇医药卫生
  • 1篇电子电信
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 6篇光刻
  • 6篇光刻机
  • 3篇同步控制
  • 2篇医学图像
  • 2篇运动控制
  • 2篇振动控制
  • 2篇三维重建
  • 2篇图像
  • 2篇控制器
  • 2篇控制系统
  • 2篇隔振
  • 2篇隔振系统
  • 2篇工件台
  • 1篇等值面
  • 1篇掩模
  • 1篇医学图像三维...
  • 1篇异常增生
  • 1篇运动控制器
  • 1篇运动控制系统
  • 1篇增生

机构

  • 9篇中南大学

作者

  • 9篇王永华
  • 5篇吴运新
  • 4篇邓习树
  • 2篇杨辅强
  • 2篇李建平
  • 1篇袁志扬
  • 1篇徐效文
  • 1篇蔡良斌
  • 1篇贺地球

传媒

  • 2篇微计算机信息
  • 1篇制造技术与机...
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇2009
  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 2篇2006
  • 1篇2005
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
基于MITK的医学图像三维重建及其交互技术研究
医学图像三维重建技术是当前医学图像处理的热点之一。它在诊断医学、手术规划及模拟仿真、虚拟内窥镜、解剖教学等方面都有重要应用。因此,对医学图像三维重建的研究,具有重要的理论意义和应用价值。 本文主要研究了基于MI...
王永华
关键词:医学图像三维重建
文献传递
基于等值面优化重建医学图像的改进算法被引量:2
2009年
医学图像可视化技术利用二维医学图像序列重建出三维模型,为医生提供了直观、全面、准确的病灶和正常组织信息。传统的方法直接采用由序列轮廓线生成的三角片来拟合曲面,重建的速度与效果均有限。为了提高医学三维图像的重建速度和效果,在对用于构造等值面的MC(Marching Cubes)算法进行分析的基础上,提出一种三点线性插值法代替相邻多边形顶点的位置,并对等值面法向矢量场进行平滑,实现了目标图像的三维重建。
徐效文王永华
关键词:三维重建等值面
光刻机隔振试验平台运动控制系统设计与研究
超精密运动平台是步进扫描式光刻机的核心部件之一。生产上对半导体光刻设备高质量和高效率的不断追求,迫使其运动平台朝着高速、高加速度进一步发展。因此,如何减小甚至消除高速、高加速运动对整个光刻设备的振动冲击,保证半导体器件的...
王永华
关键词:光刻机同步控制
文献传递
一种步进扫描光刻机隔振系统模拟试验装置
本发明公开了一种步进扫描光刻机隔振系统模拟试验装置,把整个试验装置分成内部世界和外部世界两大部分,外部世界主要完成模拟光刻机的精密步进扫描运动,使工件台和掩模台按预定的速度、加速度曲线运动,完全再现真正光刻机的步进扫描运...
吴运新邓习树李建平贺地球王永华杨辅强袁志扬蔡良斌
文献传递
用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制被引量:2
2007年
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案。试验结果表明,其各项性能指标均满足设计要求,对指导实际工业应用具有一定的参考价值。
邓习树吴运新杨辅强王永华
关键词:光刻机工件台
光刻机掩模台宏动定位系统的控制器设计被引量:5
2006年
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机掩膜台宏动平台的控制问题,采用直线电机设计了高速、高精密步进扫描光刻机的掩模台模拟宏动定位系统,并建立了整个直线运动平台的数学模型。根据该系统的特点和模型,还设计了一种不完全微分PID+干扰观测器的控制方式。运用MATLAB软件进行仿真,结果表明,在具有相同的扰动下,仅采用普通PID控制,系统跟踪误差在±0.025 mm范围内变化,而采用该控制方式,系统跟踪误差在±0.015 mm的范围内变化,后者比前者具有更好的控制性能,因而可以使系统得到较好的抗干扰能力、跟踪性能和控制效果。
邓习树吴运新王永华
关键词:干扰观测器光刻机控制系统
口腔扁平苔藓组织中COX-2、VEGF的表达及其关系的研究
目的:研究口腔扁平苔藓(OLP)组织中COX-2、VEGF的表达及分布,探讨其在OLP癌变机制中的作用。 方法:采用免疫组化法检测33例OLP、35例口腔白斑(OLK)、31例口腔鳞状细胞癌(OSCC)及10例...
王永华
关键词:口腔扁平苔藓COX-2异常增生癌变
文献传递
光刻机模拟工作台的精密隔振系统方案设计研究被引量:9
2005年
提出了高精密设备光刻机模拟工作平台隔振系统的设计方法和系统结构;根据国内外现行的减振方法,建立了整个模拟工作台的结构模型;根据减振要求,选择了适当的减振器。由于光刻机所处激励环境的复杂性和系统内部存在的非线性,采用了主动控制方法BP神经网络+PID控制的主动控制方法来控制整个减振系统。
吴运新邓习树李建平王永华
关键词:光刻机主动振动控制隔振系统
基于PMAC的光刻机隔振试验台控制系统的设计被引量:1
2006年
概述了步进扫描光刻机运动系统的结构和开放式数控系统的特点;以PMAC运动控制器为核心,搭建了光刻机隔振试验台。详细分析了其控制系统的硬件结构和部件的选型,介绍了伺服系统PID参数的整定方法,最后讨论了如何利用系统软件实现同步控制要求。
王永华吴运新
关键词:开放式数控系统PMAC运动控制器同步控制
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