王喜莲
- 作品数：74 被引量：170H指数：6
- 供职机构：哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 电共沉积InGaAs薄膜材料被引量：1
- 2001年
- 阐述了电共沉积方法制备发射光波长近于 1 3～ 1 5 μm的InGaAs薄膜材料。用能谱分析仪进行薄膜成分分析 ,用分光光度计和单色仪测量薄膜的透射率 ,同时测量了薄膜I-V特性、导电类型、厚度及其表面形貌 ,分析结果表明该方法是半导体薄膜材料制备的一种新途径。
- 王喜莲韩爱珍高元恺
- 关键词：INGAAS
- 多晶硅薄膜的高温压阻效应被引量：5
- 2005年
- 利用LPCVD制备重掺杂多晶硅薄膜，在0-560℃温度范围内对薄膜的压阻效应进行研究，同时对多晶硅薄膜应变系数随温度的变化，以及薄膜的淀积温度与薄膜厚度对应变系数的影响进行了相关的实验研究．结果表明，利用多晶硅材料制作的压敏电阻，其最高工作温度可以达到560℃以上．
- 霍明学刘晓为张丹王喜莲宋明浩
- 关键词：压阻效应多晶硅
- 一种新型压电式双向无阀微泵的研制
- 本文采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工...
- 王蔚田丽鲍志勇刘晓为王喜莲杨松涛
- 关键词：MEMS压电驱动
- 文献传递
- 无阀微泵及其封装方法
- 本发明提供的是无阀微泵及其封装方法。首先制作好微泵泵体，在泵体的腔体处同心地放置一个环形密封弹性垫，在环形密封弹性垫上同心地放好压电陶瓷蜂鸣片，压电陶瓷蜂鸣片的PZT面朝腔体外，在压电陶瓷蜂鸣片上同心放置一个金属环，使用...
- 刘晓为张国威田丽王喜莲
- 文献传递
- 静电键合在高温压力传感器中的应用被引量：11
- 1999年
- 分析了硅－玻璃静电键合界面受热循环作用，或者受反向电压作用后，在高温时，键合力的特点，实验验证了高温（４５０℃）时键合面牢固、稳定。研究结果表明高温压力传感器可以采用静电键合技术进行封装。
- 王蔚刘晓为刘玉强王喜莲张建才张雪梅
- 关键词：高温稳定性压力传感器
- 微型直接甲醇燃料电池极板结构的研究被引量：3
- 2006年
- 极板结构直接影响微型直接甲醇燃料电池的极化特性,采用微机械加工技术制作几种不同极板流场结构的直接甲醇燃料电池.通过对不同极板结构的微型直接甲醇燃料电池的性能比较,发现栅型阳极流场结构的电池输出特性明显优于螺旋蛇型和点型流场结构.另外对采用不同极板材料制作的直接甲醇燃料电池也进行比较,发现不锈钢微型直接甲醇燃料电池的性能明显优于硅基结构的燃料电池.
- 张宇峰刘晓为王喜莲王蔚索春光
- 关键词：微机械加工微型直接甲醇燃料电池极化特性
- 微型磁通门结构的研制
- 微机械加工技术研制了微型磁通门元件，摸索了光敏聚酰亚胺的光刻条件和亚胺化条件以及多层金属选择性腐蚀的问题，并通过蒸镀和掩膜电铸两种途径制备了线圈芯，研究了不同电铸工艺参数（镀液中CFe<'2+>/CN...
- 王东红陈伟平游余新王喜莲
- 关键词：光敏聚酰亚胺
- 校内实验室开设微电子生产实习的探索被引量：6
- 2009年
- 微电子芯片生产的"超净"限制了学生在大企业芯片生产线上的实习机会。为此,我校在校内实验室建立了微电子平面工艺线,为学生开设生产实习。在教师指导下,学生动手进行晶体管制作的全部工艺操作和测试。为使学生对实际工业化生产方式和生产过程有所了解,我们对教学内容进行合理安排,生产实习前增设了认识实习。实践证明,校内生产实习有助于学生实践能力的培养和综合素质的提高。
- 王蔚田丽王喜莲刘晓为
- MEMS中的静电-热键合技术被引量：3
- 2005年
- 在研制压力传感器时,采用静电-热键合相结合的方法,对Si/Au-Class、Si/Au-Glass/Si结构的键合技术进行了研究.硅与淀积有金加热器引线玻璃的封接:先以Si/Glass静电键合方法进行,再400℃退火2h,使Si/Au热键合.用一次充氮真空检漏法对键合形成的绝压腔进行了测试,结果显示:键合界面接合牢固、气密.此技术被用于Si/Au—Glass/Si结构自检测压力传感器的键合封接,经对传感器测试,性能良好,具有自检测功能.
- 王蔚陈伟平刘晓为霍明学王喜莲鞠鑫张颖
- 关键词：键合压力传感器MEMS
- 镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件被引量：14
- 2001年
- 为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ,并将其集成在耐高温压力传感器上 ,对制备的压力 -温度多功能传感器进行了测试 .结果表明传感器可在室温至 2 0 0℃温度范围工作并达到较高精度 ,可以推广使用 .
- 王蔚刘晓为王喜莲马战
- 关键词：温度敏感元件多功能传感器
