沈荷生
- 作品数：91 被引量：321H指数：12
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信理学一般工业技术更多>>
- 刀具表面掺硼金刚石复合涂层制备装置
- 一种刀具制造技术领域的刀具表面掺硼金刚石复合涂层制备装置，包括：反应罩、合金钻头、支撑台及冷却装置、直流偏压电源、热丝电源、气压控制装置、耐高温弹簧、热丝和钻头支架，其中：合金钻头和耐高温弹簧分别竖直设置于钻头支架上，热...
- 沈彬孙方宏张志明沈荷生郭松寿
- 用拉伸法测量硬质合金刀具上金刚石薄膜的附着力
- 采用垂直表面的拉伸来测试金刚石薄膜在ＷＣ（Ｃｏ）硬质合金衬底上的附着强度，试验的关键是对金刚石薄膜表面进行预处理，从而大大加强其与拉伸杆之间的粘结强度，拉伸时断裂只发生在金刚石薄膜与衬底之间，该试验可给出薄膜附着强度的直...
- 何贤昶沈荷生
- 关键词：硬质合金刀具金刚石薄膜附着力拉伸法
- 掺杂金刚石薄膜的缺陷研究被引量：6
- 2004年
- 利用多普勒增宽谱和电子顺磁共振研究了掺硼和掺硫金刚石薄膜的缺陷状态 .多普勒增宽谱的结果表明 ,不同杂质元素掺杂的金刚石薄膜 ,其中使正电子湮没的缺陷种类是相同的 ;正电子与不同杂质元素硼、硫之间的相互作用不明显 ;少量硼可使金刚石膜中的空位浓度减少 .EPR结果表明 。
- 胡晓君李荣斌沈荷生何贤昶邓文罗里熊
- 关键词：金刚石薄膜掺杂电子顺磁共振
- 压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试被引量：5
- 2003年
- 由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到了压阻式金刚石压力微传感器的原型器件。对该器件的压力输出特性测量表明,输出电压—压力曲线线性较好,重复性好,常温下灵敏度高。
- 凌行莘海维张志明孙方宏戴永兵沈荷生
- 关键词：压阻式金刚石薄膜压力微传感器制作方法
- 金刚石复合涂层拉丝模制备方法
- 一种金刚石复合涂层拉丝模制备方法，以大孔径硬质合金拉丝模为衬底，经稀盐酸滴加双氧水腐蚀，清洗后用穿孔热丝CVD法首先沉积一层常规金刚石薄膜，然后降低反应气体压力，增加碳源体积浓度，并添加Ar气，原位继续沉积一层纳米金刚石...
- 沈荷生张志明郭松寿
- 文献传递
- 金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备方法
- 一种机械制造领域的金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备方法，采用基体表面去钴和粗化、脱碳和还原处理、反应气体中添加粘结促进剂预处理，通过控制CVD涂层工艺参数，金刚石沉积初期，在硬质合金衬底上以提高成核密度为主；在金刚石生长中...
- 孙方宏张志明沈荷生郭松寿陈明
- 文献传递
- 低电阻率硼硫共掺杂金刚石薄膜的制备被引量：7
- 2004年
- 利用微波气相沉积方法制备了低电阻率的 n型硫掺杂和硼硫共掺杂金刚石薄膜 .质子激发 X射线荧光测试表明硼硫共掺杂方法能够提高硫在金刚石中的溶解度 ;扫描电镜和 Raman光谱的分析结果表明掺杂金刚石薄膜的晶粒较完整 ,薄膜中存在较多的非金刚石碳相 .Hall效应测试表明薄膜的导电类型为 n型 ,电阻率为 0 .0 2 4 6 Ω·cm,载流子浓度为 2 .4 0× 1 0 1 7cm- 3,Hall迁移率为 1 0 3cm2 / (V· s) ;较低的电阻率是薄膜中存在
- 胡晓君李荣斌沈荷生戴永兵何贤昶
- 关键词：共掺杂N型金刚石电阻率
- 微波等离子体退火制备CoSi_2薄膜
- 2004年
- 采用微波等离子体退火方法使溅射的金属钴薄膜与 (1 0 0 )硅衬底发生固相反应直接生成 Co Si2 ,证明了采用微波等离子体退火制备低阻硅化钴的可行性 .通过 X射线衍射图谱发现 ,当退火时间相同时 ,在 6 1 0℃时先形成Co Si2 (1 1 1 )织构 ,75 0℃时 (1 0 0 )取向的 Co Si2 生长显著 .此外 ,在微波作用下 ,无需先形成富 Co的 Co2 Si和 Co Si,就能直接得到稳态的 Co Si2 ,不同于常规的热处理 .分析认为这是因为微波可以促进固相反应中 Co原子的扩散 ,有利于 Co Si2
- 欧阳斯可汪涛戴永兵吴建生何贤昶沈荷生
- 关键词：金属硅化物钴固相反应微波等离子体
- 基于有限元模拟金刚石涂层拉拔模具的优化分析被引量：2
- 2008年
- 金刚石涂层拉拔模具以其优异的性能(高硬度、高耐磨性、低摩擦系数等)逐渐成为线材及管材高速拉拔行业中新一代的拉拔模具。为深入研究金刚石涂层拉拔模具对铜材拉拔过程的影响,借助非线性有限元分析对其进行模拟仿真,分析了拉拔过程中铜材及金刚石涂层模具的轴向及径向应力分布规律。通过正交实验法研究了铜材不同压缩率时金刚石涂层拉拔模具参数(工作锥半角α,过渡圆弧半径R,定径带长度L)对铜材拉拔过程的影响,得到了最佳的拉拔模具孔型参数(压缩率为13.7%时,α=6°,R=4 mm,L=4.5 mm;压缩率为25.8%时,α=7°,R=3 mm,L=4.5 mm),并采用极差分析与方差分析方法对模拟结果进行分析,得到了不同压缩率时各影响因素对铜材表面轴向残余应力和涂层模具最大等效应力的影响规律。应用实验表明,孔型参数优化后的金刚石涂层拉拔模具的工作寿命是硬质合金模具的10倍。这对于金刚石涂层拉拔模具的推广应用有非常重要的意义。
- 杨晓静孙方宏张志明沈荷生郭松寿
- 关键词：铜材正交实验法有限元
- 纳米结构和器件的自组装技术
- 根据Moore’s定则,12-15年后,IC密度将达到1012bit/cm2。这与大脑的神经元的密度相当。为得到亚微米和纳米精度的器件特征尺寸,传统的制造业将付出昂贵的费用(一般尺寸缩小和所需费用呈指数增长关系)。因而新...
- 万永中戴永兵王庆康曾令刚辛海维沈荷生张志明
- 文献传递
