杨铎
- 作品数：3 被引量：7H指数：1
- 供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 一种气相沉积薄膜TEM样品制备技术——改进的可溶盐基片法
- 2012年
- 本文对可溶盐基片方法制备薄膜TEM样品进行了改进。改进后不仅保持了原可溶盐基片法方便、高效和快捷的特点,还可以根据表征需要获得薄膜在不同生长阶段微结构的样品。
- 杨铎董玉军沈洁李戈扬
- 关键词：TEM
- Ti,C超过饱和固溶铝基复合薄膜的微结构和力学性能被引量：1
- 2013年
- 采用Al和TiC靶通过磁控共溅射方法制备了Ti:C≈1的不同Ti和C含量的铝基复合薄膜,研究了Ti和C含量对薄膜微观结构和力学性能的影响.结果表明:Ti和C的共同加入使复合薄膜形成了同时具有置换固溶和间隙固溶特征的"双超"过饱和固溶体,复合薄膜的晶粒尺寸在较低的溶质含量下就迅速减小到100 nm以下,并随溶质含量的增加继续减小.相应地,薄膜的硬度也从纯Al的1.3 GPa迅速提高,在含0.6%(Ti,C)时可达到2.1 GPa,并在含6.4%(Ti,C)时达到最高值7.0 GPa.随溶质含量的进一步提高,复合薄膜逐渐呈现非晶态,硬度也略有降低.研究结果显示了Ti和C双超过饱和固溶对铝基薄膜具有显著的晶粒细化作用和强化效果.
- 尚海龙沈洁杨铎孙士阳李戈扬
- 关键词：微结构力学性能磁控溅射
- 磁控溅射(Ti,N)/Al纳米复合薄膜的微结构和力学性能被引量：6
- 2013年
- 采用Al和TiN靶通过磁控共溅射方法,制备了一系列Ti:N≈1的不同(Ti,N)含量的铝基纳米复合薄膜,利用X射线能量分散谱仪、X射线衍射仪、透射电子显微镜和纳米力学探针表征了薄膜的成分、微结构和力学性能,研究了(Ti,N)含量对复合薄膜微结构和力学性能的影响.结果表明:Ti,N原子的共同加入使复合薄膜形成了同时具有置换固溶和间隙固溶特征的"双超过饱和固溶体",薄膜的晶粒随着溶质含量的增加逐步纳米化,并进一步形成非晶结构,晶界区域形成溶质原子的富集区.相应地,复合薄膜的硬度在含1.8at.%(Ti,N)时就可迅速提高到3.9GPa;随着TiN含量的增加,薄膜的硬度进一步提高到含17.1at.%(Ti,N)时的8.8GPa.以上结果显示出Ti和N"双超过饱和固溶"对Al薄膜极其显著的强化效果.
- 杨铎钟宁尚海龙孙士阳李戈扬
- 关键词：磁控溅射微结构力学性能
