李衍飞
- 作品数:4 被引量:6H指数:1
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 半导体晶圆厂时变多目标生产调度优化研究
- 针对半导体晶圆制造系统(Semiconductor Wafer Fabrication System, SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出一种时变多目标( Time-Variable Multiple-O...
- 李衍飞
- 关键词:半导体晶圆制造系统生产计划与调度仿真模糊逻辑
- 文献传递
- 半导体芯片制造的大规模系统调度技术
- 江志斌李娜雷海波李衍飞赵奇周炳海陈峰张志英梁峰张怀郭乘涛耿娜胡鸿韬
- 半导体芯片制造产业对国民经济建设具有重要影响。但是,由于规模庞大、设备昂贵、工艺复杂、多重入制程、长周期、多产品混合生产等特点,半导体芯片制造系统被认为是最复杂的制造系统,其生产调度十分困难,是制约中国半导体芯片制造企业...
- 关键词:
- 关键词:半导体芯片
- 基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究被引量:1
- 2008年
- 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。
- 李衍飞江志斌张怀
- 关键词:生产计划与调度模糊控制
- 半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化被引量:5
- 2008年
- 从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法.
- 李衍飞江志斌
- 关键词:半导体晶圆制造系统生产计划与调度模糊控制模拟退火法