张绪跃
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：辽宁科技大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术电气工程更多>>
- 基于等离子体在磁控溅射增强的模拟被引量：1
- 2020年
- 磁控溅射为代表的真空法已经成为制备薄膜的主流方法,磁场分布、等离子体密度分布及其温度等因素会直接影响到薄膜的质量。因此,选择合适的模型研究磁控溅射过程中气体放电时等离子体粒子以及电子分布非常重要。本文根据气体放电的基本原理,对圆柱形溅射装置采用流体模型,以电子、离子、亚稳态离子和中性粒子为主要粒子的等离子体建立物理模型,采用有限差分方法对所建立的模型,利用计算机编程数值模拟了直流溅射系统内气体放电的过程得到等离子体粒子的分布以及电子温度分布特性的模拟结果。
- 王晓明鄂东梅武俊生张绪跃周艳文
- 关键词：等离子体磁控溅射离子分布
- 真空法制备CIGS薄膜的研究进展
- 2012年
- 铜铟镓硒(CIGS)薄膜型太阳能电池具有高光吸收系数、高转化效率及高稳定性等优点,在太阳能电池领域受到广泛的关注。近年来,各种制备CIGS薄膜及其太阳能电池的工艺迅速发展,其利用真空共蒸发法制备的CIGS小组件的转换效率已经达到19.9%,接近多晶硅20.3%的转换效率。本文综述了真空法制备CIGS薄膜的工艺路线、薄膜结构及性能指标。
- 张绪跃周艳文
- 关键词：太阳能电池CIGS薄膜溅射
- 等离子体增强磁控溅射电磁场的模拟——磁场与等离子体的数值模拟
- 随着汤森放电、辉光放电等理论的不断完善，低温等离子体技术不断应用于薄膜沉积、表面改性、微电子器件制备以及半导体刻蚀等领域。其中，以磁控溅射为代表的真空法已经成为制备薄膜的主流方法，磁场分布、等离子体密度分布及其温度等因素...
- 张绪跃
- 关键词：磁控溅射等离子体数值模拟
