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张琪

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇铁电
  • 1篇铁电薄膜
  • 1篇透射电镜
  • 1篇硅基
  • 1篇硅基PZT
  • 1篇高分辨透射电...
  • 1篇PZT

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇任天令
  • 1篇朱静
  • 1篇李志坚
  • 1篇刘理天
  • 1篇张林涛
  • 1篇张琪

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅基PZT铁电薄膜的界面和表面研究被引量：6
2000年
用高分辨透射电镜等手段研究了溶胶 -凝胶 (Sol- Gel)工艺制备的硅基 Pb(Zr,Ti) O3 (PZT)铁电薄膜 ,发现在 PZT的上表面生成了 Si O2 ,PZT与硅衬底的界面处形成了无定型的 Si Ox 层并有铅的沉积 ,而且热处理温度越高 ,这种现象越显著。这些结构严重影响了 PZT铁电薄膜的品质及其应用。在分析上述结构产生机制的基础上提出了 Sol- Gel工艺的改进方法。
张林涛任天令刘理天李志坚张琪朱静
关键词：高分辨透射电镜溶胶-凝胶PZT铁电薄膜硅基
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共1页<1>
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