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康凯
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供职机构:
中国科学院研究生院
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
耿沿锋
中国科学院沈阳自动化研究所
王宏
沈阳中科博微自动化技术有限公司
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2007年首...
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2007
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基于启发式搜索的半导体集束设备调度
集束设备是8英寸以上晶圆加工的重要设备,其独特的物理结构以及特殊的半导体工艺使其调度不同于一般Job Shop调度问题。针对一种双臂机器手、在各加工单元内驻留时间受限、可重进加工类型的集束设备,在分析其调度的独特性和复杂...
耿沿锋
康凯
王宏
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启发式搜索
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