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文献类型

  • 9篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 9篇碲镉汞
  • 7篇液相外延
  • 3篇液相外延材料
  • 3篇石墨
  • 3篇托板
  • 3篇温度控制
  • 3篇温度控制装置
  • 3篇控制装置
  • 3篇高纯
  • 3篇高纯石墨
  • 3篇
  • 3篇衬底
  • 2篇抛光
  • 2篇去除方法
  • 2篇碲镉汞材料
  • 2篇温度检测
  • 2篇精确控制
  • 2篇化学腐蚀
  • 2篇机械抛光
  • 2篇残液

机构

  • 9篇中国科学院

作者

  • 9篇杨建荣
  • 9篇孙瑞贇
  • 9篇魏彦锋
  • 9篇孙权志
  • 3篇陈倩男
  • 2篇张娟
  • 2篇张传杰
  • 1篇仇光寅

年份

  • 2篇2016
  • 5篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的温度控制装置及方法
本发明公开了一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的温度控制装置及方法。通过在生长腔体和坩埚之间增加温度检测点,对坩埚内母液温度的变化趋势进行提前预测,并通过对控温点温度参数的调整,实现外延温度的精确控制。该装置及方法能有效防止生...
杨建荣魏彦锋孙瑞贇孙权志
文献传递
用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架
本专利公开了一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架,该样品架采用多边形结构,底部设置用于上下搅拌的托板,通过在母液中旋转和上下运动实现母液的均匀化;样品架的主体采用高纯石墨制作,表面由石英垫片和氮化硼底部托板覆盖,能有效防...
杨建荣魏彦锋孙瑞贇孙权志
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一种碲镉汞垂直液相外延样品架
本发明公开了一种碲镉汞垂直液相外延样品架。它是在样品架平面上,存在顶端和左右两侧三条闭合的覆盖压条,以及底端固定夹具。三条覆盖压条和夹具都有与样品架平面成45度的斜面,与衬底边缘接触。夹具通过紧固螺丝固定在样品架平面上。...
孙权志魏彦锋杨建荣孙瑞贇仇光寅陈倩男
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一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的温度控制装置
本实用新型公开了一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的温度控制装置。通过在生长腔体和坩埚之间增加温度检测点,对坩埚内母液温度的变化趋势进行提前预测,并通过对控温点温度参数的调整,实现外延温度的精确控制。该装置及方法能有效防止生长...
杨建荣魏彦锋孙瑞贇孙权志
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碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法
本发明公开了一种碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法,其特征步骤如下:使原本背面残液不可使用的碲镉汞材料通过化学腐蚀和机械抛光的办法,在不影响材料质量的情况下得以正常使用。该装置和方法的优点是:整个过程中清洗干净的碲镉汞...
孙瑞贇杨建荣魏彦锋张传杰孙权志陈倩男张娟陈晓静
一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的温度控制装置及方法
本发明公开了一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的温度控制装置及方法。通过在生长腔体和坩埚之间增加温度检测点,对坩埚内母液温度的变化趋势进行提前预测,并通过对控温点温度参数的调整,实现外延温度的精确控制。该装置及方法能有效防止生...
杨建荣魏彦锋孙瑞贇孙权志
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碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法
本发明公开了一种碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法,其特征步骤如下:使原本背面残液不可使用的碲镉汞材料通过化学腐蚀和机械抛光的办法,在不影响材料质量的情况下得以正常使用。该装置和方法的优点是:整个过程中清洗干净的碲镉汞...
孙瑞贇杨建荣魏彦锋张传杰孙权志陈倩男张娟陈晓静
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一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架
本发明公开了一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架,该样品架采用多边形结构,底部设置用于上下搅拌的托板,通过在母液中旋转和上下运动实现母液的均匀化;样品架的主体采用高纯石墨制作,表面由石英垫片和氮化硼底部托板覆盖,能有效防...
杨建荣魏彦锋孙瑞贇孙权志
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一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架
本发明公开了一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架,该样品架采用多边形结构,底部设置用于上下搅拌的托板,通过在母液中旋转和上下运动实现母液的均匀化;样品架的主体采用高纯石墨制作,表面由石英垫片和氮化硼底部托板覆盖,能有效防...
杨建荣魏彦锋孙瑞贇孙权志
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共1页<1>
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