周斌
- 作品数:20 被引量:24H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金:教育部重点实验室开放基金中国工程物理研究院科技发展基金光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于微加速度计的虚拟呼啦圈被引量:1
- 2014年
- 传统呼啦圈为实体产品,体积大,不易随身携带,使用不当有可能损害身体健康。设计了一种基于微加速度计的新型虚拟呼啦圈,能够将腰部的扭动转化为同步的LED点阵屏转动,采用带有微加速度计的信号检测模块对腰部扭动的加速度数据进行采集和预处理,处理后的数据通过射频通信方式发送给显示模块,显示模块显示相关的运动参数以及与腰部扭动同步的LED点阵屏转动,以实现一种虚拟转呼啦圈的效果。该虚拟呼啦圈具有体积小、无损健康等特点,能达到与传统呼啦圈类似的运动目的。
- 高杨周斌何移李君儒何婉婧
- 关键词:微加速度计呼啦圈射频通信数码显示
- 薄膜体声波谐振器的电磁兼容性分析被引量:4
- 2015年
- 随着薄膜体声波谐振器(FBAR)工作频率及FBAR器件集成度的不断提高,FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出。常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场,无法仿真模型的相关电磁特性。使用HFSS高频电磁仿真软件建立了FBAR的三维电磁仿真模型,采用一个包含声场特性的等效介电常数,实现了FBAR电磁场分布、电磁场耦合与压电效应的一体化仿真。分析了高频电磁场分布及电磁场耦合对谐振特性的影响,通过优化FBAR与临近元件的间距及采用不同介电常数的基板材料,减小了电磁场耦合的干扰。
- 高杨周斌何移何婉婧李君儒
- 关键词:薄膜体声波谐振器电磁兼容等效介电常数
- 一种电子锁具电流的测试装置
- 本发明公开了一种电子锁具电流的测试装置,包括毫安电流表、微安电流表及用于在流入微安级电流截止的和在流入毫安级电流导通的二极管,其中:直流电源的输出正端与毫安电流表的输入端连接,直流电源的输出负端接地,毫安电流表的输出端分...
- 张飞飞卢孟周斌
- 文献传递
- 具有二氧化硅温度补偿层的薄膜体声波谐振器的建模与分析(英文)被引量:3
- 2015年
- 薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典型Mo-AlN-Mo三层结构的FBAR进行了温度-频率漂移特性的仿真,得到其在[-50℃,150℃]温度范围内的频率温度系数(TCF)约为-35×10-6/℃。在FBAR叠层薄膜结构中添加了一层具有正温度系数的二氧化硅温度补偿层,分析了该补偿层厚度对FBAR的温度-频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响。设计了具有一层二氧化硅温度补偿层的FBAR叠层,由Mo/AlN/SiO2/Mo多层薄膜构成,仿真得到其频率温度系数为0.872×10-6/℃;与没有温度补偿层的FBAR相比,温度稳定性得以显著改善。
- 高杨周斌何移何婉婧
- 关键词:射频微电子机械系统薄膜体声波谐振器频率漂移温度系数有限元分析
- 基于智能手机的饮水监护装置
- 2014年
- 传统的饮水监护装置使用地点固定,不具有饮水提醒功能。设计了一种基于智能手机的饮水监护装置,能够通过智能手机更新饮水信息并提醒饮水。饮水量检测装置通过压力传感器检测饮水量,智能手机采用蓝牙无线通信方式接收由饮水量检测装置发送的饮水量数据,饮水监控App软件显示实时监测的饮水量数据表,并在饮水量不足时提醒饮水。功能测试表明,基于智能手机的饮水监护装置能够实时检测饮水量并提醒饮水。
- 高杨何移周斌李君儒何婉婧
- 关键词:压力传感器智能手机
- 薄膜体声波谐振器温度-频率漂移特性分析被引量:3
- 2014年
- 薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典型Mo-AlN-Mo结构的FBAR进行温度-频率漂移特性的仿真,在-50^+150℃温度范围内得到其温度频率系数为-33.6×10-6/℃。通过在FBAR结构中添加一层正温度系数的补偿层,分析了补偿层厚度对FBAR温度-频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响。设计的温度补偿FBAR其温度频率系数为0.872×10-6/℃,比未添加补偿层时有很大改善。
- 周斌高杨何移李君儒何婉婧
- 关键词:薄膜体声波谐振器谐振频率机电耦合有限元分析
- 空腔型FBAR功率容量的影响因素分析与优化被引量:1
- 2014年
- 机械应力和自热效应是影响空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)功率容量的主要因素。采用ANSYS对声波纵向振荡产生的机械应力进行了结构仿真,发现应力主要集中在空气腔结构附近;对压电薄膜逆压电效应功率损耗产生的自热效应进行了热仿真,发现空气腔和支撑层阻碍了热量向衬底传导。提出了提高器件功率容量的优化设计:为了减小应力集中,可以减小空气腔的深度以限制声波振荡产生的纵向位移;为了提高散热能力,可以将空气腔的深度减小并选取导热系数大的支撑层。优化设计的仿真验证结果表明:空气腔附近的应力集中面积明显减小,最大应力值由16.6 GPa下降到12.8 GPa;同样施加6 mW的功率,器件内部最高温度由113°C下降到56°C;优化设计的空腔型FBAR,功率容量得到了显著提高。
- 何移高杨周斌李君儒何婉婧
- 关键词:薄膜体声波谐振器功率容量自热效应有限元分析
- 热温差型微流量传感器热敏电阻自热的补偿方法被引量:3
- 2013年
- 分析了热温差型微流量传感器的热敏电阻自热对测量的影响和惠斯通电桥作为前端信号采集电路的不足,提出了相应的解决方法。利用ANSYS软件对热敏电阻自热的各种情况进行了仿真,发现当上下游热敏电阻的功率越接近且值越小时,传感器的输出信号越稳定。从仿真的结论和惠斯通电桥的不足出发,提出了以恒流电路作为信号检测前端电路的方法,不但可以基本消除传感器热敏电阻自热所造成的测量误差,而且改善了由于电源不稳定给传感器测量造成的影响。分析表明,当流速为1m/s、流道高度为150μm时,传感器的测量误差降低了1%左右。
- 代富高杨官承秋周斌何移
- 关键词:微电子机械系统流量传感器惠斯通电桥
- 一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法
- 本发明涉及一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法,该声波谐振器包括硅衬底、牺牲层和压电薄膜换能器堆叠结构,压电薄膜换能器堆叠结构从下往上依次包括支撑层、底电极、压电层、顶电极;压电薄膜换能器堆叠结构被释放窗口阵列贯穿...
- 高杨何移周斌何婉婧李君儒蔡洵黄振华
- 文献传递
- 窄带FBAR带通滤波器设计被引量:6
- 2013年
- 由薄膜体声波谐振器构成的滤波器,其带宽受压电材料机电耦合系数的影响,较难实现窄带滤波器设计。使用ADS射频仿真软件设计了一种通带为1.18~1.20 GHz的窄带薄膜体声波滤波器,分别通过比较增加无源电容元件、改变串并联谐振器面积比、在压电振荡堆内增加一层非压电层和采用两个中心频率不同的薄膜体声波滤波器串联这四种方法,得出窄带薄膜体声波滤波器的优化设计方案。设计得到的滤波器突破了压电材料本身机电耦合系数限定的带宽值,实现了窄带要求,并且带外抑制以及带内插损等设计指标均满足要求。
- 周斌高杨何移李君儒何婉婧
- 关键词:窄带滤波器机电耦合系数