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刘伟峰
作品数:
24
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供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家科技支撑计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
医药卫生
理学
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合作作者
季林红
清华大学机械工程学院精密仪器与...
杨义勇
中国地质大学北京工程技术学院
程嘉
中国地质大学北京
肖志杰
中国地质大学北京
赵康宁
中国地质大学北京
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电机控制器
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机构
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中国地质大学...
11篇
清华大学
作者
24篇
刘伟峰
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季林红
13篇
杨义勇
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程嘉
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赵康宁
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肖志杰
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程嘉
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1篇
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一种供气均匀的等离子体刻蚀装置及其中的气体供应装置
一种供气均匀的等离子体刻蚀装置,包括反应腔室,其中相对且间隔地设置接地电极和射频电极,还设有气体供应装置,所述气体供应装置包括至少一根匀气管路,该匀气管路一端为进气口,另一端封闭,在该匀气管路的侧壁上设置多个出气孔;所述...
杨义勇
肖志杰
刘伟峰
程嘉
季林红
韩传锟
赵康宁
文献传递
动力下肢外骨骼控制方法、装置和系统
本申请提出一种动力下肢外骨骼控制方法、装置和系统,其中,系统包括:第一、二电机控制器分别获取左、右膝关节电机发送的左、右膝关节角度和左、右膝关节电流信号并发送给主控制单元;第三、四电机控制器分别获取左、右髋关节电机发送的...
关鑫宇
李银波
韩新宇
刘伟峰
时展鹏
季林红
杨沂霖
任峻立
文献传递
一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统
本发明提供了一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统,其包括:入射光纤;切尼‑特纳光路结构,其设置在所述入射光纤的下游;面阵光纤,所述面阵光纤包括入射端和出射端,所述入射端连接所述切尼‑特纳光路结构的输出端;光电倍...
刘伟峰
杨义勇
一种多功能等离子体腔室处理系统
本发明涉及一种多功能等离子体腔室处理系统,其特征在于,包括CCP设备、ICP设备和配气系统,所述配气系统与所述CCP设备和ICP设备连接,用于将所述CCP设备及ICP设备内抽成真空,同时还用于向所述CCP设备及ICP设备...
杨义勇
刘伟峰
赵康宁
季林红
程嘉
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用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室
用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室属于半导体制造设备设计技术领域。包括上盖、匀气盘、腔体、可替换内衬、内衬支架、基座、排气装置、流场检测空间以及气压检测引管,所述流场检测空间为圆柱形,圆柱体的直径可通过更...
程嘉
王人成
季林红
刘伟峰
王春财
林嘉
孙钰淳
郝道欣
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一种供气均匀的等离子体刻蚀装置
一种供气均匀的等离子体刻蚀装置,包括反应腔室,其中相对且间隔地设置接地电极和射频电极,还设有气体供应装置,所述气体供应装置包括至少一根匀气管路,该匀气管路一端为进气口,另一端封闭,在该匀气管路的侧壁上设置多个出气孔;所述...
杨义勇
肖志杰
刘伟峰
程嘉
季林红
韩传锟
赵康宁
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功能电刺激和电机混合驱动的下肢外骨骼装置及控制方法
本发明公开了一种功能电刺激和电机混合驱动的下肢外骨骼装置及控制方法,其中,动力式下肢外骨骼系统用于根据实时电机角度和电流信号,建立髋关节电机控制器和膝关节电机控制器的内部动力学模型,对动力学模型进行参数识别,得到髋关节电...
关鑫宇
李银波
任峻立
刘伟峰
季林红
杨沂霖
韩新宇
时展鹏
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髋关节可外展内收的动力式下肢外骨骼
本发明公开了一种髋关节可外展内收的动力式下肢外骨骼,包括:膝关节组件、大腿支条组件、髋关节组件、骨盆支架组件、无动力膝关节、小腿支条和足托,其中,大腿支条组件包括大腿杆和大腿鞘;髋关节组件包括并联柔性驱动器、髋关节限位件...
关鑫宇
李银波
汤子汉
季林红
刘凯奇
蒙奎霖
李质斌
刘伟峰
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一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统
本发明提供了一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统,其包括:入射光纤;切尼‑特纳光路结构,其设置在所述入射光纤的下游;面阵光纤,所述面阵光纤包括入射端和出射端,所述入射端连接所述切尼‑特纳光路结构的输出端;光电倍...
杨义勇
刘伟峰
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可调节式轻薄外骨骼膝关节驱动器
本发明公开了一种可调节式轻薄外骨骼膝关节驱动器,包括:支撑板;轴向固定设置于支撑板上的驱动部件,用于输出驱动力;轴向固定设置于支撑板上的传动部件,传动部件与驱动部件相连,用于传递驱动力;轴向固定设置于支撑板上的减速部件,...
关鑫宇
李银波
蒙奎霖
季林红
汤子汉
李质斌
刘伟峰
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