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郭晓龙

作品数：13 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇真空设备
  • 3篇倒伏
  • 3篇微波
  • 3篇微细结构
  • 3篇硅片
  • 3篇干燥装置
  • 2篇带轮
  • 2篇修饰
  • 2篇选择性
  • 2篇丝杆
  • 2篇丝杠
  • 2篇皮带轮
  • 2篇转座
  • 2篇晶片
  • 2篇精细化
  • 2篇刻蚀
  • 2篇化湿
  • 2篇高选择性
  • 2篇法兰
  • 2篇半导体

机构

  • 13篇中国科学院微...
  • 1篇哈尔滨理工大...

作者

  • 13篇郭晓龙
  • 6篇景玉鹏
  • 5篇张庆钊
  • 5篇于明岩
  • 5篇徐昕伟
  • 3篇夏洋
  • 3篇卢维尔
  • 2篇李琳
  • 2篇朱慧珑
  • 2篇张永奎
  • 1篇李楠
  • 1篇石莎莉
  • 1篇陈宝钦
  • 1篇万军
  • 1篇李勇滔
  • 1篇李超波
  • 1篇冯嘉恒
  • 1篇屈芙蓉
  • 1篇郭新贺
  • 1篇解婧

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 5篇2021
  • 1篇2019
  • 1篇2017
  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
原子层沉积系统的开发与应用
夏洋李超波孙清清陈波万军李楠卢维尔解婧李勇滔张庆钊石莎莉屈芙蓉郭晓龙张柏诚冯嘉恒
研究目的：伴随集成电路（IC）的不断发展，器件尺寸发展到亚10nm，电子行为的量子力学特点越来越突出。这对于IC制造技术而言，不仅是传统意义上CMOS晶体管特征尺寸的持续缩小，更为重要的是新材料、新器件结构和新工艺的引入...
关键词：
关键词：量子力学半导体器件
应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连被引量：3
2015年
针对显影工艺中水的表面张力导致的高高宽比抗蚀剂图形的坍塌及黏连,提出了一种基于微波加热的干燥技术来有效改善纳米抗蚀剂图形的干燥效果。该方法利用微波穿透光刻胶结构直接加热光刻胶图形间隙中残存的去离子水,水分子吸收微波的光子能量迅速蒸发,从而有效地抑制光刻胶图形的坍塌与黏连现象。利用提出的基于微波加热的干燥方法,成功获取了高260nm、宽16nm的光刻胶线条组和直径为20nm的光刻胶柱形阵列,其中高高宽比线条组和由15 625根柱子组成的柱形阵列结构没有出现坍塌及黏连情况,验证了在微波产生的交变电场作用下,可以减小水分子团簇,降低水的表面张力。
于明岩施云波赵士瑞郭晓龙徐昕伟景玉鹏陈宝钦
关键词：电子束光刻黏连高宽比微波加热
一种微波激发的超临界干燥装置及方法
本发明公开了一种微波激发的超临界干燥装置及方法，该超临界干燥装置包括：腔室(3)；设置于腔室(3)内盛载待测硅片(5)的石英装置(4)；设置于腔室(3)外且与石英装置(4)连通的真空抽水装置(1)；设置于腔室(3)内侧壁...
于明岩景玉鹏郭晓龙赵士瑞徐昕伟
一种刻蚀装置及刻蚀方法
本发明公开了一种刻蚀装置，包括：氧化修饰单元、刻蚀单元、清洁单元、传输单元和控制单元；其中，氧化修饰单元包括：第一腔室，设置在第一腔室内的第一监控组件，以及由第一监控组件进行监控的第一供给组件，第一供给组件与第一腔室连通...
张永奎朱慧珑卢维尔夏洋李琳郭晓龙尹晓艮文庆涛
文献传递
一种利用CO<Sub>2</Sub>发电的系统及方法
本发明公开了一种利用CO<Sub>2</Sub>发电的系统，属于发电系统技术领域。该系统包括热交换器、压缩机、汽轮机和发电机，所述热交换器上分别设置有热交换介质入口和热交换介质出口，所述热交换器、压缩机、汽轮机和发电机依...
郭晓龙王磊郭新贺景玉鹏
文献传递
一种调节真空设备样品台角度的装置
本发明公开了一种调节真空设备样品台角度的装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架；支撑法兰；丝杆法兰；滑块，所述滑块设置在丝杆法兰上，且所述滑块与...
郭晓龙张庆钊
文献传递
一种对纳米图形进行紫外清洗的装置及方法
本发明公开了一种对纳米图形进行紫外清洗的装置及方法，该装置包括：反应腔室(1)；设置于腔室内部顶端的紫外灯(2)；设置于腔室内部用来固定待清洗硅片(5)的托盘(4)；设置于托盘下方的加热管(3)；设置于腔室底部且连接于托...
赵士瑞景玉鹏于明岩郭晓龙徐昕伟
文献传递
一种传送真空设备样品的装置
本发明公开了一种传送真空设备样品的装置，所述装置包括：磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；手轮，所述手轮与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述手轮设置在所述真空腔体的外侧；第一...
郭晓龙张庆钊
文献传递
一种真空设备的角度调节装置
本发明公开了一种真空设备的角度调节装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架；支撑法兰；丝杆法兰；滑块，所述滑块设置在丝杆法兰上，且所述滑块与丝杆连...
郭晓龙张庆钊
文献传递
一种半导体干燥装置及方法
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体干燥装置。所述干燥装置，包括：腔室；石英装置，设置于所述腔室内，用于盛载待测硅片；GHz电磁波发生装置，设置于所述腔室内，用于产生交变电场对所述待测硅片进行加热，并且使石英装置...
徐昕伟景玉鹏郭晓龙于明岩赵士瑞
文献传递
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共2页<12>
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