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费斌
作品数:
1
被引量:12
H指数:1
供职机构:
西安交通大学
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相关领域:
机械工程
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合作作者
范裕健
西安交通大学
徐文雄
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蒋庄德
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费斌
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范裕健
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1篇
1996
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计量圆光栅动态精度的检测技术
被引量:12
1996年
本文探讨了计量圆光栅的精度检测问题,提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法,后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差,而前者采用频谱分析方法、借助计算机处理,实现对圆光栅动态地、连续测量,最终得到其误差函数R(θ)。本方法采用软件修正技术剔除安装偏心等系统误差,硬件系统使用了高精度的脉冲计数电路,使得检测系统的精度大为提高,并且排除了测量过程中,环境或人为因素对检测精度的影响。本文对这种光栅动态检测技术的原理及应用进行了研究。
费斌
徐文雄
蒋庄德
蒋庄德
关键词:
圆光栅
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