蔡昕
- 作品数：9 被引量：64H指数：5
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 图像处理技术在形貌测量中的应用被引量：14
- 2001年
- 本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例 ,分析影响精度的各种因素 ,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术 ,对改善二维、三维图像质量 。
- 许谊徐毓娴蔡昕
- 关键词：图像处理形貌滤波
- 可定量测量的透射式微分干涉显微系统被引量：3
- 2003年
- 为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜,CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件。介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微镜,改装成透射式微分干涉相衬显微镜的关键技术。利用改装好的装置对几种透明体的形貌进行了重构。结果表明:该系统较好地解决了透明体表面形貌的重构问题,在一般实验室条件下,无须采取任何隔振和环境控制措施,测量系统重复性、稳定性均优于2nm,测量范围不受半个波长的限制,有广阔的应用前景。
- 徐毓娴蔡昕董小满李文江
- 关键词：相移表面形貌
- 干涉显微镜中相移误差分析被引量：6
- 2002年
- 相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一。介绍了四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法的原理和计算公式 ,并对其特点进行了分析比较。利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统 ,分别用四种算法对Ra=0 35μm和Ra=0 .0 9μm粗糙度样块进行了实测。结果表明 ,五帧算法的重复测量精度优于0 5nm ,五帧免疫算法的重复测量精度优于 0 3nm。
- 徐毓娴董小满蔡昕惠梅
- 关键词：微分干涉显微镜相移误差表面形貌测量
- 图像处理技术在形貌测量中的应用
- 本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例,分析影响精度的各种因素,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术,对改善二维、三维图像质量,提高检测精度的可行性。
- 许谊徐毓娴蔡昕
- 关键词：图像处理形貌滤波
- 文献传递
- 微分干涉相衬显微镜中偏光棱镜设计被引量：16
- 2001年
- 微分干涉相衬显微测量术在生物医学、材料科学等领域中有广泛应用 ,其中偏振分光棱镜设计是关键技术之一。对应用于微分干涉相衬显微系统中的偏振分光棱镜 Nomarski棱镜的主要参数之间的关系进行分析 ,并做了设计计算 ,得出了一些有实用价值的结论 ,使 Nomarski棱镜的设计更简便 。
- 蔡昕徐毓娴张志利
- 关键词：分束角显微镜显微测量
- 用透射式微分干涉相衬显微镜测量表面形貌的方法和装置
- 一种用透射式微分干涉相衬显微镜定量测量透明体表面形貌的方法和装置,属微观物体表面形貌测量技术领域。其特征是在常规透射式微分干涉相衬显微镜的主Nomarski棱镜与检偏器之间加入四分之一波片,并给检偏器加驱动装置,使其可以...
- 徐毓娴李庆祥李文江蔡昕董小满
- 文献传递
- 透射式微分干涉相衬显微系统的设计与实验研究
- 蔡昕
- 关键词：表面形貌相移干涉
- 改进型Wollaston棱镜设计被引量：15
- 2001年
- 介绍了改进型 Wollaston棱镜的特点、主要参数及基于这些参数对光学系统结构的设计公式。应用 Matlab软件自编程序对分束角ε与棱镜楔角γ和光轴倾角δ之间 ,相干平面倾角η与棱镜楔角γ和光轴倾角δ之间的关系进行了计算并对结果做了分析 ,得出一些有实用价值的结论 ,克服了 Wollaston棱镜使用上的局限 。
- 徐毓娴蔡昕张志利
- 关键词：WOLLASTON棱镜光学系统分束角
- 微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌被引量：18
- 2001年
- 改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统 ,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差 β 的消零工作提出了一种新的方法 ,实验证明是有效可靠的 ,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究。
- 许谊徐毓娴惠梅蔡昕
- 关键词：干涉显微镜相衬显微镜
