您的位置： 专家智库 > >

荣子光

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

主题

  • 3篇晶片
  • 3篇激光
  • 3篇激光退火
  • 3篇硅晶
  • 3篇硅晶片
  • 2篇顶针
  • 2篇卸载
  • 2篇炉壳
  • 1篇退火
  • 1篇退火设备
  • 1篇温度
  • 1篇温度控制
  • 1篇传热
  • 1篇传热分析

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇荣子光
  • 2篇吴志军
  • 2篇冯平法
  • 2篇郑书友
  • 2篇郁鼎文
  • 2篇张建富
  • 2篇张云亮

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
激光退火片台装置
本发明公开一种激光退火片台装置，包括：底座、炉壳、加热组件、隔热组件、托盘和卸片组件。炉壳内限定有炉腔，炉腔的上表面敞开，炉壳支撑在底座上；加热组件设在炉腔内；隔热组件设在加热组件与炉壳的内壁之间；托盘设在炉壳的顶面上且...
张建富冯平法吴志军郁鼎文荣子光张云亮郑书友
激光退火片台装置
本发明公开一种激光退火片台装置，包括：底座、炉壳、加热组件、隔热组件、托盘和卸片组件。炉壳内限定有炉腔，炉腔的上表面敞开，炉壳支撑在底座上；加热组件设在炉腔内；隔热组件设在加热组件与炉壳的内壁之间；托盘设在炉壳的顶面上且...
张建富冯平法吴志军郁鼎文荣子光张云亮郑书友
文献传递
硅晶片激光退火设备片台加热系统的研究与开发
荣子光
关键词：激光退火传热分析温度控制
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0