范茂军
- 作品数:11 被引量:24H指数:3
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划黑龙江省博士后科研启动基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信兵器科学与技术更多>>
- 微双桥结构氢气传感技术研究被引量:2
- 2009年
- 基于催化燃烧式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al_2O_3膜加工成微双桥结构载体,采用平面薄膜工艺制做铂薄膜热敏电阻,涂敷Al_2O_3-ZrO-Th0-Pd和Al_2O_3-ZrO-Th0形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,实现在微双桥上催化桥臂和补偿桥臂的单片集成,制作出氢气传感器。测试结果表明:传感器可实现体积分数0~40 000×10^(-6)氢气检测,具有线性输出特性,温度为5~45℃的传感器的最大零点输出优于±1.0%。
- 张洪泉范茂军
- 关键词:催化氢气传感器
- 单向过载传感器厚膜混合集成电路的研究
- 将传感器与信号调节电路利用厚膜电路工艺,进行混合封装,完成了传感器的一体化,实现了传感器的小型化。
- 孙慧明于泉郭宏伟范茂军
- 关键词:厚膜混合集成传感器
- 文献传递
- 压阻式振动角加速度传感器被引量:7
- 2001年
- 本文对压阻式振动角加速度传感器的惯性变换系统的结构特性、工作原理进行了分析讨论 .建立了数学模型 .并用实验证实了该惯性系统设计合理 .它可以作为角度传感器的惯性变换系统 ,用于振动角位移、角速度。
- 孙慧明于泉方伟林范茂军
- 关键词:角加速度轮辐式传感器
- 微悬梁式汽油传感器研究
- 2010年
- 提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜敏感电阻器,涂敷Al2O3-ZrO2-ThO2-Pt—Pd和Al2O3-ZrO2-ThO2-PbO形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出汽油传感器。测试结果表明:传感器可实现汽油体积分数为(0-15)×10^-3的检测(标准气为己烷),且具有线性输出特性。同时对汽油传感器的工作初始稳定性和长期稳定性问题进行了研究。
- 张洪泉乔英杰汪洋范茂军
- 关键词:催化
- 微型三轴振动传感器关键技术研究被引量:4
- 2000年
- 提出了微型三轴振动传感器的关键技术。为实现微型化 ,在结构设计、电路设计及传感器电桥组成形式等方面采取相应措施。电子元件选用表面安装元件 ,运用表面安装技术 ,解决了微型化技术难点 ;采用调整阻尼比技术 ,解决了传感器的低量程、高频响的技术难点。
- 侯占民吴亚林范茂军
- 关键词:传感器阻尼比
- 火炮振动角加速度测试技术及传感器的研究
- 范茂军
- 基于γ-Al_2O_3膜微加工煤油传感器研究被引量:1
- 2012年
- 基于半导体式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微热板结构载体,采用平面薄膜工艺制做Pt薄膜加热电阻和信号电极。在微热板的2个电极上,涂敷γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd形成煤油蒸气敏感单元,实现在微结构体上气体检测的二单元集成。传感器采用脉冲工作方式,工作周期为30 s,在加热峰值形成高温400℃的煤油检测条件。测试结果表明:煤油(标志物:癸烷)检测可实现体积分数(0~7000)×10-6范围,90%的吸附响应时间小于8s,脱附响应时间小于12s,传感器信号输出与煤油体积分数有对应的全对数线性关系。
- 张洪泉乔英杰范茂军
- 关键词:气体传感器煤油微加工脉冲加热
- 传感器企业赢利模式与生产均衡优化模型研究
- 2009年
- 针对国内外传感器行业多品种、小批量的产业特征,运用生产均衡与优化的基础理论,设计了传感器企业利润最大化时,与投入要素相关联的生产均衡与优化模型;寻找出产量均衡控制的合理区间,确定有约束条件下的投入要素与产量、利润之间最优组合关系和企业赢利模式,并对所设计模型的有效性进行实例验证。
- 郭源生范茂军郭宏
- 关键词:传感器赢利模式
- 用于半导体气体传感器的程控标定系统被引量:8
- 2002年
- 组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统。该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热 ,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号。该系统可对由四支气体传感器构成的阵列进行多种工作模式的标定。
- 任术波唐祯安蒋国平张洪泉范茂军
- 关键词:半导体气体传感器质量流量控制器通用接口总线
- 单向过载传感器厚膜混合集成电路被引量:1
- 2001年
- 将传感器与信号调节电路利用厚膜电路工艺进行混合封装 ,完成了传感器的一体化 。
- 孙慧明于泉郭宏伟范茂军
- 关键词:传感器厚膜混合集成电路