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石何武
作品数:
58
被引量:31
H指数:3
供职机构:
中国恩菲工程技术有限公司
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相关领域:
化学工程
经济管理
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合作作者
杨永亮
中国恩菲工程技术有限公司
严大洲
中国恩菲工程技术有限公司
郑红梅
中国恩菲工程技术有限公司
张升学
中国恩菲工程技术有限公司
汤传斌
中国恩菲工程技术有限公司
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石何武
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制备多晶硅还原生产用混合气供料的装置
本发明提供了一种制备多晶硅还原生产用混合气供料的装置。该装置包括:本体,所述本体内限定出汽化空间;氢气进料口,所述氢气进料口设置在所述本体上;三氯氢硅进料口,所述三氯氢硅进料口设置在所述本体上;二氯二氢硅进料口,所述二氯...
石何武
严大洲
肖荣晖
汤传斌
毋克力
杨永亮
郑红梅
文献传递
多晶硅生产中废气的分类回收利用
被引量:1
2020年
多晶硅生产需要通过排放尾气或者残液的形式排出影响产品纯度的杂质成分,来最终产品的品质,排放的废气大致可以分为:以氮气为主的废气、以氢气为主的废气、含有氯硅烷的废气和含有氢氟酸等酸性气体的废气。本文分别对目前这几类废气的处理措施和利用技术进行了介绍,以期为相关企业提供参考,实现多晶硅生产排放废气的分类回收利用。
石何武
张升学
姜利霞
郑红梅
关键词:
多晶硅
废气
循环利用
利用制备多晶硅的系统制备多晶硅的方法
本发明公开了一种利用制备多晶硅的系统制备多晶硅的方法,该方法包括:采用多个还原炉将三氯氢硅和氢气进行还原反应,以便得到多晶硅和还原尾气,其中,将上游还原炉产生的还原尾气通过管道供给至下游还原炉中参与还原反应。该方法可以实...
石何武
郑红梅
严大洲
汤传斌
肖荣晖
文献传递
用于多晶硅还原炉的喷嘴
本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉的喷嘴,所述用于多晶硅还原炉的喷嘴包括:基座,所述基座包括内直径恒定的顺流部和位于所述顺流部上方且内直径由下至上逐渐增大的引流部;导向杆,所述导向杆设在所述基座内;引流转子,所述引流转...
姚心
汪绍芬
石何武
文献传递
多晶硅还原炉的冷却系统和方法
本发明公开了多晶硅还原炉的冷却系统和方法,该系统包括:还原炉,包括钟罩和底盘,所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口,所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口,所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水...
石何武
张升学
杨永亮
郑红梅
严大洲
文献传递
用于多晶硅还原炉的底盘、底盘组件和还原炉
本发明提出一种用于多晶硅还原炉的底盘、底盘组件和还原炉。本发明的用于多晶硅还原炉的底盘包括:盘体,盘体具有第一进气孔组,第一进气孔组包括至少一个第一进气孔,每个第一进气孔沿盘体的轴向贯穿盘体;电极孔组,电极孔组包括沿盘体...
石何武
汪绍芬
杨永亮
万烨
张升学
陈辉
汤传斌
严大洲
文献传递
处理废水的系统
本实用新型公开了一种处理废水的系统,该系统包括:中和装置,所述中和装置具有废酸入口、碱液入口和中和后废水出口;第一沉降装置,所述第一沉降装置具有含酸废水入口、中和后废水入口、沉降剂入口和沉降后混合物出口;过滤装置,所述过...
章莉
石何武
郑红梅
杨永亮
多晶硅还原炉
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,包括炉体、底盘组件、进气系统和出气系统,底盘组件包括底盘本体、电极、进气端管和出气端管,炉体与底盘本体限定出反应腔,多个电极设在底盘本体上且为沉积载体硅芯提供安装基础,多个电极在底盘本体...
汪绍芬
石何武
杨永亮
严大洲
汤传斌
姚心
文献传递
多晶硅还原系统
本实用新型公开一种多晶硅还原系统,所述多晶硅还原系统包括还原炉、热水供给装置、第一换热器、第二换热器、第三换热器、第四换热器、管道混合器,第一换热器分别与还原炉、热水供给装置和第二换热器连接,第二换热器分别与还原炉、管道...
石何武
张升学
陈贵娥
郑红梅
杨永亮
文献传递
具有绝缘组件的多晶硅还原炉
本实用新型提供了一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉,绝缘组件包括绝缘防护装置和绝缘隔热结构,多晶硅还原炉具有电极安装孔,电极安装孔内穿设有电极,电极安装孔的孔壁与电极之间具有间隙,间隙内设置有绝缘防护装置,绝缘防护装置包括第...
石何武
严大洲
肖荣晖
汤传斌
毋克力
杨永亮
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