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王志冲
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供职机构:
上海大学
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合作作者
曾志刚
上海大学
胡志宇
上海大学
杜文涛
上海大学
陈英
上海大学
张自强
上海大学
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机构
4篇
上海大学
作者
4篇
胡志宇
4篇
王志冲
4篇
曾志刚
3篇
陈英
3篇
杜文涛
2篇
张自强
1篇
杨晓云
1篇
张向鹏
年份
1篇
2015
3篇
2014
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一种嵌入式自测温微热台及其制备方法
本发明提供了一种嵌入式自测温微热台及其制备方法。微热台的结构从上到下依次为:上绝缘层、电阻丝填埋层、下绝缘层和具有绝热槽的硅支撑框架。使用本发明中提出的填埋工艺将特定图案的电阻丝填埋进已刻蚀的氧化硅沟槽中,通过控制沟槽深...
胡志宇
曾志刚
杜文涛
陈英
王志冲
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一种多功能微型控温装置
本发明涉及一种多功能微型控温装置,由微加工工艺制造的自测温微热台、微型半导体制冷片、智能控温仪、计算机和数据采集仪组成,所述自测温微热台与微型半导体制冷片上下层叠紧密相连,所述自测温微热台包括上绝缘层、电阻丝和多对电极,...
胡志宇
王志冲
杜文涛
曾志刚
陈英
张自强
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一种温差电材料塞贝克系数及电阻率的测量装置
本实用新型公开了一种温差电材料塞贝克系数及电阻率的测量装置。该装置采用可粗、细调的升降装置;四根探针固定在升降装置可移动部分;两条热电偶线固定在中间两根探针上;探针和热电偶连接到数据采集模块;采集模块连接计算机;载物台采...
胡志宇
张自强
曾志刚
张向鹏
杨晓云
王志冲
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一种嵌入式自测温微热台及其制备方法
本发明提供了一种嵌入式自测温微热台及其制备方法。微热台的结构从上到下依次为:上绝缘层、电阻丝填埋层、下绝缘层和具有绝热槽的硅支撑框架。使用本发明中提出的填埋工艺将特定图案的电阻丝填埋进已刻蚀的氧化硅沟槽中,通过控制沟槽深...
胡志宇
曾志刚
杜文涛
陈英
王志冲
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