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湛智兵
作品数:
6
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供职机构:
中国科学院福建物质结构研究所
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
黄丰
中国科学院福建物质结构研究所
丁凯
中国科学院福建物质结构研究所
郑清洪
中国科学院福建物质结构研究所
张继业
中国科学院福建物质结构研究所
陈达贵
中国科学院福建物质结构研究所
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作者
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黄丰
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湛智兵
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丁凯
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洪杨平
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2015
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2012
1篇
2011
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一种MgZnO薄膜的制备设备系统和方法
本发明涉及一种MgZnO薄膜,尤其是一种用于制备紫外探测器的MgZnO薄膜的磁控溅射系统和方法。磁控溅射系统包括生长腔(1),真空系统(2),安放衬底的基片架(3),2个溅射电极(4)、(5),电子枪(6)和混气室(7)...
黄丰
郑清洪
陈达贵
湛智兵
丁凯
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一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法
本发明涉及一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法。对于磁控溅射制备的不稳定AZO薄膜,采用Zn气氛退火的方法来改善薄膜的导电性和稳定性。将薄膜和金属Zn粒一起密封于真空容器中,加热到一定的温度并维持一定...
黄丰
林璋
湛智兵
一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法
本发明涉及一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法。对于磁控溅射制备的不稳定AZO薄膜,采用Zn气氛退火的方法来改善薄膜的导电性和稳定性。将薄膜和金属Zn粒一起密封于真空容器中,加热到一定的温度并维持一定...
黄丰
林璋
湛智兵
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p型氧化锌材料的制备方法
本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤:强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜;通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子,同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的;通...
黄丰
丁凯
林文文
张继业
郑清洪
黄嘉魁
黄瑾
湛智兵
陈达贵
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p型氧化锌材料的制备方法
本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤:强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜;通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子,同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的;通...
黄丰
丁凯
林文文
张继业
郑清洪
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一种高效的光催化杀菌氧化锌多层膜
本发明涉及一种在紫外光下具有高效杀菌抗菌性能的氧化锌多层膜光催化剂涂层的结构设计与制备方法。该涂层包含两层或两层以上具有不同载流子浓度的氧化锌薄膜。薄膜的载流子浓度通过改变铝、镓等掺杂元素的浓度来进行调控。最外层薄膜的载...
张继业
黄丰
丁凯
王永好
洪杨平
颜峰坡
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