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文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇迁移
  • 4篇迁移率
  • 3篇载流子
  • 3篇载流子浓度
  • 2篇导电薄膜
  • 2篇导电性
  • 2篇真空容器
  • 2篇施主
  • 2篇受主
  • 2篇透明导电
  • 2篇透明导电薄膜
  • 2篇能级
  • 2篇晶格
  • 2篇空位
  • 2篇AZO
  • 1篇电子枪
  • 1篇多层膜
  • 1篇氧化锌
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇中垂线

机构

  • 6篇中国科学院福...

作者

  • 6篇黄丰
  • 6篇湛智兵
  • 4篇丁凯
  • 3篇黄瑾
  • 3篇陈达贵
  • 3篇张继业
  • 3篇郑清洪
  • 2篇林璋
  • 2篇林文文
  • 2篇黄嘉魁
  • 1篇王永好
  • 1篇颜峰坡
  • 1篇洪杨平

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2012
  • 1篇2011
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
一种MgZnO薄膜的制备设备系统和方法
本发明涉及一种MgZnO薄膜,尤其是一种用于制备紫外探测器的MgZnO薄膜的磁控溅射系统和方法。磁控溅射系统包括生长腔(1),真空系统(2),安放衬底的基片架(3),2个溅射电极(4)、(5),电子枪(6)和混气室(7)...
黄丰郑清洪陈达贵湛智兵丁凯黄瑾
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一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法
本发明涉及一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法。对于磁控溅射制备的不稳定AZO薄膜,采用Zn气氛退火的方法来改善薄膜的导电性和稳定性。将薄膜和金属Zn粒一起密封于真空容器中,加热到一定的温度并维持一定...
黄丰林璋湛智兵
一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法
本发明涉及一种提高掺铝ZnO透明导电薄膜AZO导电性和稳定性的方法。对于磁控溅射制备的不稳定AZO薄膜,采用Zn气氛退火的方法来改善薄膜的导电性和稳定性。将薄膜和金属Zn粒一起密封于真空容器中,加热到一定的温度并维持一定...
黄丰林璋湛智兵
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p型氧化锌材料的制备方法
本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤:强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜;通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子,同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的;通...
黄丰丁凯林文文张继业郑清洪黄嘉魁黄瑾湛智兵陈达贵
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p型氧化锌材料的制备方法
本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤:强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜;通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子,同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的;通...
黄丰丁凯林文文张继业郑清洪黄嘉魁黄瑾湛智兵陈达贵
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一种高效的光催化杀菌氧化锌多层膜
本发明涉及一种在紫外光下具有高效杀菌抗菌性能的氧化锌多层膜光催化剂涂层的结构设计与制备方法。该涂层包含两层或两层以上具有不同载流子浓度的氧化锌薄膜。薄膜的载流子浓度通过改变铝、镓等掺杂元素的浓度来进行调控。最外层薄膜的载...
张继业黄丰丁凯王永好洪杨平颜峰坡湛智兵
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共1页<1>
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