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沈臻魁
作品数:
16
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供职机构:
复旦大学
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相关领域:
一般工业技术
理学
文化科学
自动化与计算机技术
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合作作者
刘冉
复旦大学
陈志辉
复旦大学
万海军
复旦大学
陈国平
复旦大学
仇志军
复旦大学
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机构
16篇
复旦大学
作者
16篇
沈臻魁
11篇
刘冉
7篇
陈志辉
6篇
万海军
4篇
江安全
4篇
宗兆翔
4篇
仇志军
4篇
陈国平
2篇
翁旭东
1篇
卢茜
年份
2篇
2013
4篇
2012
5篇
2011
5篇
2010
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16
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一种低介电常数介质薄膜的纳米压印金属图形转移的方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种低介电常数介质薄膜的纳米压印金属图形转移的方法。本发明利用带有金属图形的模具纳米压印低介电常数介质薄膜,实现金属图形从模具到低介电常数介质薄膜的转移,从而达到在集成电路互连制造工艺中应...
沈臻魁
宗兆翔
刘冉
文献传递
一种基于铁电材料纳米压印的颗粒自组装方法
本发明属于工程技术领域,具体为一种基于纳米压印铁电材料来组装颗粒的方法。它通过纳米压印铁电材料改变铁电薄膜内部的电畴结构分布,从而在薄膜内部形成内电场。在紫外光照下,不同的内电场方向对电子与空穴的驱动方向不同,从而实现颗...
沈臻魁
陈国平
刘冉
一种构造铁电薄膜材料表面形貌的方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种构造铁电薄膜材料表面形貌的方法。它利用纳米压印技术构造铁电薄膜材料表面形貌的同时,使得被压印铁电材料的电畴自发极化方向取向有序化。而且电畴自发极化方向取向有序化程度可由应力大小来控制。...
沈臻魁
陈志辉
卢茜
刘冉
文献传递
一种铁电溶液及其薄膜电容制备的方法
本发明属微电子技术领域,涉及一种铁电溶液及其薄膜电容制备的方法。本发明在制备先体溶液时,加入一定过量的铅原料,并配合一定的工艺流程,通过过量的铅抵消在制备铁电薄膜时的铅挥发,从而提高铁电薄膜的电学性能。所述前驱液由Pb、...
陈志辉
沈臻魁
万海军
江安全
文献传递
一种基于铁电材料纳米压印的颗粒自组装方法
本发明属于工程技术领域,具体为一种基于纳米压印铁电材料来组装颗粒的方法。它通过纳米压印铁电材料改变铁电薄膜内部的电畴结构分布,从而在薄膜内部形成内电场。在紫外光照下,不同的内电场方向对电子与空穴的驱动方向不同,从而实现颗...
沈臻魁
陈国平
刘冉
文献传递
基于铁电薄膜电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法
本发明属于电子技术领域,具体为一种基于铁电材料电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法。本发明通过选择性的极化铁电薄膜的电畴而形成表面电荷的阵列图形,通过它与有极性的微小颗粒相互作用,实现微小颗粒有选择性的组装沉淀到铁电薄膜...
沈臻魁
陈国平
刘冉
文献传递
铁电存储器多位数据存储的操作方法
本发明提出一种实现铁电存储器多位数据存储的操作方法,属于微电子技术领域,它在铁电存储器存储单元中,通过外加不同的写脉冲电压来使得铁电薄膜相应产生不同大小的剩余极化强度,并相应定义为不同的存储态,再通过一个固定外加正读电压...
陈志辉
江安全
沈臻魁
万海军
文献传递
一种适用于金属薄膜材料的3omega热导测量方案
本发明属于微电子技术领域,具体为一种适用于金属性薄膜材料的3omega热导测量方法。该方法基于改进的解析模型,利用3omega测试结构与频率相关的热学响应特性,通过实验拟合手段得到与一组频率相关的热流比值。从该值推导出实...
宗兆翔
刘冉
仇志军
沈臻魁
纳米压印技术在铁电薄膜材料上的应用
铁电材料由于其铁电、压电和热释电等特性,在非挥发存储器、传感器、非线性光学器件和微机械系统等领域有着非常广泛的应用。近些年,由于器件小型化和集成度越来越高,对铁电材料微纳加工技术的要求也越来越高。如何减少纳米结构加工过程...
沈臻魁
关键词:
纳米压印
铁电薄膜
基于铁电薄膜电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法
本发明属于电子技术领域,具体为一种基于铁电材料电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法。本发明通过选择性的极化铁电薄膜的电畴而形成表面电荷的阵列图形,通过它与有极性的微小颗粒相互作用,实现微小颗粒有选择性的组装沉淀到铁电薄膜...
沈臻魁
陈国平
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