杨帆 作品数:6 被引量:2 H指数:1 供职机构: 中山大学电子与信息工程学院 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家高技术研究发展计划 国家教育部博士点基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 更多>>
选择区域外延槽栅结构GaN常关型MOSFET的研究 被引量:2 2016年 高性能GaN常关型功率开关器件的实现是目前研究的热点。槽栅结构GaN常关型MOSFET以其栅压摆幅冗余度大、栅极漏电流小等优势受到广泛关注。制备槽栅结构GaN常关型MOSFET需要的刻蚀方法会在栅极沟道引入缺陷,影响器件的稳定性。首先,提出选择区域外延方法制备槽栅结构GaN常关型MOSFET,期望避免刻蚀对栅极沟道的损伤;再通过改进选择区域外延工艺(包括二次生长界面和异质结构界面的分离及抑制背景施主杂质),使得二次生长的异质结构质量达到标准异质结构水平。研究结果表明,选择区域外延方法能够有效保护栅极导通界面,使器件具备优越的阈值电压稳定性;同时也证明了选择区域外延方法制备槽栅结构GaN常关型MOSFET的可行性与优越性。 杨帆 何亮 郑越 沈震 刘扬关键词:MOSFET 低温AlN插入层对Si基AlGaN/GaN异质结构材料特性的影响研究 GaN材料体系以其禁带宽度大、耐高压、耐高温等优越性能非常适合制作微波放大及功率开关器件,AlGaN/GaN异质结构是其中的代表.在生长GaN外延层的几种可能衬底材料(蓝宝石、SiC、Si和GaN)中,Si衬底有明显的低... 杨帆 贺致远 倪毅强 姚尧 王硕 张金城 吴志盛 张佰君 刘扬表面态对AlGaN/GaN异质结构2DEG影响的模拟分析 2014年 利用模拟软件研究施主表面态特性与AlGaN/GaN异质结构中二维电子气(2dimensional electron gas,2DEG)形成之间的关系,分析施主表面态电离过程以及表面态能级位置、表面态密度的影响。结果表明:施主表面态为2DEG的电子来源;AlGaN能带分布及2DEG密度随AlGaN厚度、施主表面态能级位置、施主表面态密度的改变而改变。 杨帆 林哲雄 张炜 张金城 王硕 贺致远 倪毅强 刘扬关键词:半导体物理学 增强型GaN MOSFET的制备及其绝缘栅的电荷特性研究 2015年 采用ICP干法刻蚀和PECVD沉积技术,制备了增强型Si衬底SiO2/GaN MOS栅场效应晶体管(MOSFET)。SiO2/GaN MOSFET转移特性曲线测试中出现阈值电压不稳定现象,针对其阈值电压稳定性问题,采用正向电压偏置方法对SiO2/GaN MOSFET的绝缘栅电荷特性展开研究。正向电压偏置后,器件的转移特性曲线和高频C-V特性曲线均正向偏移,研究表明:SiO2/GaN之间存在的界面态和靠近SiO2/GaN界面的SiO2内部陷阱是造成SiO2/GaN MOSFET阈值电压不稳定的原因,实验研究结果同时表明氮气1 000℃快速热退火(RTA)对SiO2内部陷阱有改善作用。 周桂林 张金城 沈震 杨帆 姚尧 钟健 郑越 张佰君 敖金平 刘扬关键词:氮化镓 场效应管 等离子增强化学气相沉积 采用选择区域外延技术制备的常关型Si衬底GaN MOSFET的特性研究 在功率开关应用领域,为了保障失效安全,常关型器件的实现是非常有必要的.本文采用选择区域外延(SAG)技术,即:在金属有机化学气相外延(MOCVD)外延生长形成的半绝缘(SI)GaN/Si基底上,选择性地在接入区生长AlG... 姚尧 吴志盛 张佰君 刘扬 贺致远 杨帆 沈震 张金城 王硕 周桂林 钟健 郑越表面态对AlGaN/GaN异质结构中2DEG影响的模拟研究 本文主要利用模拟软件对AlGaN/GaN异质结构中二维电子气(2DEG)形成过程中施主表面态的影响进行研究,主要分析施主表面态电离过程及表面态能级位置、表面态密度的影响。模拟显示施主表面态为2DEG中电子来源,A1GaN... Fan Yang 杨帆 Zhexiong Lin 林哲雄 Wei Zhang 张炜 Jincheng Zhang 张金城 Zhiyuan He 贺致远 Yiqiang Ni 倪毅强 Yang Liu 刘扬关键词:半导体材料 二维电子气