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徐政

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇PBL

机构

  • 1篇无锡微电子科...

作者

  • 1篇郑若成
  • 1篇徐政
  • 1篇陈志勇

传媒

  • 1篇电子与封装

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
PBL隔离技术
2002年
本文介绍了 Polysilicon Buffered LOCOS(PBL)隔离工艺技术,与常规的 LOCOS 相比,PBL 只是在氧化层和氮化硅(SiN)之间加了一层多晶,用作缓冲层。缓冲层的引入,有效地减少了鸟嘴长度。
陈志勇郑若成徐政
关键词：PBL多晶硅
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共1页<1>
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