2025年3月26日
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周文
作品数:
30
被引量:7
H指数:1
供职机构:
安徽大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
一般工业技术
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所
李冬梅
中国科学院微电子研究所
侯成诚
安徽大学电子信息工程学院
汪幸
安徽大学电子信息工程学院
闫学锋
中国科学院微电子研究所
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半导体薄膜、气体传感器及其制作方法
一种半导体薄膜的制作方法,该方法包括以下步骤:使用溶剂配置半导体金属氧化物与聚合物的混合溶液;使混合溶液覆盖在传感器器件的敏感膜区域;将传感器器件真空干燥,从而在传感器器件敏感膜区域形成半导体薄膜。相应的,本发明还提供一...
李冬梅
刘明
谢常青
周文
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一种制作声表面波传感器敏感膜的方法
本发明公开了一种制作声表面波传感器敏感膜的方法,是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上,通过电子束蒸发和剥离光刻胶形成敏感膜,该敏感膜是由TiO<Sub>2</Sub>和WO<Sub>3</Sub>构成的聚合敏感膜。利用本发...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
谢常青
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声表面波气体传感器及其制作方法
本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法,该声表面波气体传感器用于探测NO<Sub>2</Sub>气体的浓度,该方法包括:提供基底,所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器;在所述...
李冬梅
周文
刘明
谢常青
侯成诚
汪幸
闫学锋
文献传递
一种制作半导体薄膜材料的方法
本发明公开了一种制作半导体薄膜材料的方法,该方法是在声表面波气体传感器的制造过程中,在双延迟线型振荡器的一条延迟线上滴涂三乙醇胺与碳纳米管的混合溶液,并真空烘干而形成敏感膜的。本发明通过将研磨的碳纳米管加入三乙醇胺中配制...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
谢常青
霍宗亮
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一种制作声表面波传感器敏感膜的方法
本发明公开了一种制作声表面波传感器敏感膜的方法,该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上,滴涂混合溶液并真空烘干而形成,该混合溶液是在TiO<Sub>2</Sub>胶体溶液中均匀分散聚苯胺PAn粉末形成的。本发明提供的这...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
谢常青
叶甜春
霍宗亮
龙世兵
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一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法
本发明公开了一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法,该方法是由TiO<Sub>2</Sub>掺杂CuPc作为敏感材料,通过混合和压制形成TiO<Sub>2</Sub>与CuPc混合材料,电子束蒸发该TiO<...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
谢常青
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一种制作声表面波气体传感器双层敏感膜的方法
本发明公开了一种制作声表面波气体传感器双层敏感膜的方法,该方法首先通过电子束蒸发制作三氧化钨WO<Sub>3</Sub>敏感膜,然后在乙醇溶液中均匀分散二氧化锡SnO<Sub>2</Sub>粉末形成SnO<Sub>2</...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
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一种声表面波气体传感器及其制造方法
本发明公开了一种声表面波气体传感器及其制造方法,所述声表面波气体传感器包括:基底、同时设置在所述基底上的阵列式插指换能器和外围电路;其中,所述基底部分镀有压电薄膜;所述阵列式插指换能器设置于所述压电薄膜之上;所述阵列式插...
李冬梅
侯成诚
闫学峰
周文
汪幸
刘明
谢常青
叶甜春
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一种制作声表面波传感器双层敏感膜的方法
本发明公开了一种制作声表面波传感器双层敏感膜的方法,该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上电子束蒸发ZnO粉末制作ZnO薄膜,然后在该ZnO薄膜上滴涂经过研磨的均匀分散的多壁碳纳米管溶液,并真空烘干形成ZnO和MWCN...
李冬梅
汪幸
刘明
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聚苯胺—多壁碳纳米管薄膜SAW NO_2传感器
被引量:6
2011年
将聚苯胺—多壁碳纳米管聚合物沉积于声表面波(SAW)气体传感器的敏感区,形成敏感薄膜,实现了室温下对不同体积分数NO2的检测。研究表明:这种传感器具有很高的敏感性,良好的重复性和低体积分数检测极限。同时,单一聚苯胺薄膜也做了对比测量,实验结果表明:聚苯胺—多壁碳纳米管聚合物敏感膜比单一聚苯胺薄膜具有更高的敏感性和更短的恢复时间。
周文
闫学锋
侯成诚
李冬梅
刘明
陈军宁
关键词:
声表面波
聚苯胺
多壁碳纳米管
气体传感器
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