刘广庆
- 作品数：5 被引量：6H指数：2
- 供职机构：天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
- 发文基金：天津市应用基础与前沿技术研究计划国家自然科学基金天津市科技计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析被引量：3
- 2010年
- 利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:一定条件下制备的多层膜其纳米硬度值高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制比为15∶1,调制周期为(13±1)nm时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量和膜基结合性能均达到最佳.多层膜机械性能的明显改善与其多层结构和多晶结构存在直接联系.实验证明通过选择合适的个体层材料、厚度以及调制比等条件,制备具有高硬度、低应力和良好膜基结合力的纳米多层膜是可以实现的.
- 董磊刘广庆孙延东龚杰刘孟寅李德军
- 关键词：离子束辅助沉积
- 调制周期对ReB_2/TaN纳米多层膜的结构和力学性能影响被引量：4
- 2011年
- 利用射频磁控溅射方法(衬底温度20℃)制备TaN,ReB2单层膜及ReB2/TaN纳米多层膜,并通过XRD,SEM,XP-2表面轮廓仪及纳米力学测试系统对薄膜的微结构和力学性能进行表征,分析调制周期对其影响。结果表明:TaN和ReB2均具有典型的六方结构,在其构成的多层膜中,当调制周期达到8～12nm附近时,纳米多层膜的硬度和弹性模量均高于两种材料所构成单层膜的相应值。在Λ=9.6nm,多层膜达到最高硬度(28.8GPa)及弹性模量(345.9GPa),同时内应力取得较好结果。
- 刘广庆张帅刘孟寅李德军
- 关键词：射频磁控溅射调制周期
- 调制周期对ZrB_2/WNx纳米多层膜的机械性能和结构的影响
- 2010年
- 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/WNx纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:ZrB2具有典型的六角相及WNx为六方与立方混合相结构,ZrB2/WNx的多层膜则呈现多晶结构。所有多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体单层膜材料值。当调制周期Λ=9.6 nm,轰击能量为200 eV时,ZrB2/WNx的多层膜显示出最高的硬度(30.2 GPa)和弹性模量,内应力和划痕测试等机械性能也取得较好的结果。
- 刘广庆刘孟寅龚杰孙延东李德军
- 关键词：离子辅助沉积调制周期
- 调制周期、调制比、沉积温度对ZrB_2/W纳米多层膜微结构和机械性能的影响
- 2011年
- 利用离子束辅助沉积方法(IBAD)在室温和400℃下制备出了单质的ZrB2和W薄膜以及不同调制周期和调制比的ZrB2/W纳米超晶格多.通过XRD,SEM,表面轮廊仪及纳米力学试系统研究了沉积温度和调制周期对纳米多生长、织构、界面结构、机械性能的影响.研究结果表明:在室温条件下,调制周期为13nm时,多的硬度最高可达23.8GPa,而合成中提高沉积温度则有利于提高薄的机械性能.在沉积温度约为400℃时合成的6.7nm调制周期的ZrB2/W多,其硬度和弹性量分别达了32.1和399.1GPa.同时,临界载荷也增大42.8mN,且残余应力减小约-0.7GPa.沉积温度的提高不仅使具有超晶格结构的ZrB2/W纳米多界面发生原子散,增强了沉积原子迁率,致其真实的原子密度提高,起位错钉扎的作用,同时晶粒尺度也被限制在纳米尺度,这些均对提高薄的硬度起作用.
- 刘孟寅谭明刘广庆王海媛薛凤英邓湘云李德军
- 关键词：离子束辅助沉积多层膜调制周期沉积温度
- 调制周期对ZrB2/WNx纳米多层膜的机械性能和结构的影响
- 利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/W纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的...
- 刘广庆谭明邓湘云李德军
- 关键词：DEPOSITIONMULTILAYEREDHARDNESSPERIOD
