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侯明阳

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：华中科技大学控制科学与工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇EWMA
  • 2篇权值
  • 1篇电路
  • 1篇批间
  • 1篇控制方法
  • 1篇集成电路
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体行业

机构

  • 3篇华中科技大学

作者

  • 3篇侯明阳
  • 2篇郑英
  • 1篇艾兵
  • 1篇张杰
  • 1篇郑燕

传媒

  • 1篇控制理论与应...
  • 1篇第27届中国...

年份

  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法被引量：2
2009年
批间(run-to-run,简称R2R)控制现今已被广泛用于半导体生产行业.指数加权移动平均(exponet weighted moving average,EWMA)是R2R控制的一种重要算法.折扣因子是EWMA控制期的主要参数.本文在模型中考虑了实际生产过程中混合产品少量多样的特点,引入了基于产品的变折扣因子EWMA控制算法,解决了产品切换时制程输出收敛速度过慢的问题.变折扣因子的引入提高了制程输出的响应速率而并不影响制程输出的稳定性.对实际过程的模拟仿真检验了该控制算法的可行性和优越性.
侯明阳郑英艾兵郑燕张杰
混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究
批间(Run-to-Run，R2R)控制已广泛应用于半导体生产行业。指数加权移动平均(Exponent Weighted Moving Average，EWMA)反馈控制是R2R控制的一种重要算法。折扣因子(Discou...
郑英侯明阳
关键词：半导体行业
文献传递
基于变权值EWMA的混和产品批间控制方法研究
近些年来，随着集成电路行业的飞速发展，半导体晶圆的尺寸变得越来越大，另一方面，关键尺寸的技术节点则日益缩小，为保证新技术下硅片产品的质量，很多集成电路制造商纷纷引入一些先进的工艺控制技术。批间控制是一种离散的控制方法。通...
侯明阳
关键词：集成电路
文献传递
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