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任彬
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
东北师范大学
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自动化与计算机技术
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自动化与计算...
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故障诊断
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PLC
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超纯
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东北师范大学
作者
1篇
任彬
年份
1篇
2008
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超纯水系统的监控实现与故障诊断
随着半导体市场的建立和壮大,作为供给半导体生产线不可缺少的超纯水系统成为保障生产的重中之重。在目前生产超纯水的各种各样的先进的水处理设备中时常会出现一些不可预知的故障,最早人们采用故障诊断的方法是人工方法,由工程技术人员...
任彬
关键词:
超纯水系统
PLC
监控系统
组态王
粗糙集
故障诊断
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